[0022] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0023] 请参阅图1‑5,本实用新型提供的一种实施例:
[0024] 一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,包括机体1和鼓风机22,机体1的一侧固定连接有吸风机构2,且吸风机构2包括收集仓21,收集仓21一端的表面安装有鼓风机22,并且鼓风机22的吸风端穿过收集仓21延伸至收集仓21的内部,收集仓21另一侧的表面开设有出灰口24,且出灰口24远离收集仓21一侧的表面插设有塞件25,收集仓21的一侧设置有第一连通管26,且第一连通管26靠近收集仓21的一侧安装有第二连通管27,并且第二连通管27的内部与第一连通管26的内部相连通,第二连通管27的一端穿过收集仓21延伸至收集仓
21的内部,第一连通管26另一侧的两端皆安装有吸风管件28,且吸风管件28的内部与第一连通管26的内部相连通,吸风管件28的表面均匀开设有吸风口29,机体1的表面安装有两组按钮4,且按钮4的表面皆套设有防护机构3,并且防护机构3皆与机体1的表面固定连接;
[0025] 进一步的,收集仓21的内部设置有过滤板23,且过滤板23的四周皆与收集仓21的内部固定连接,且过滤板23一侧的表面与鼓风机22的吸风端相靠近,收集仓21内部通过安装有过滤板23,可避免收集仓21内部吸食的灰尘进入鼓风机22的内部,对鼓风机22造成一定的损还,从而影响鼓风机22的正常使用,对灰尘快速的进行一定的过滤;
[0026] 进一步的,收集仓21一端的内壁呈圆锥形漏斗状,收集仓21内壁一端的口径小于收集仓21另一端内壁的口径,用户在拧动塞件25,使得收集仓21的内部向外打开,通过收集仓21内壁呈圆锥形漏斗状,使得收集仓21内部存储的灰尘可以快速的向外进行排泄;
[0027] 进一步的,塞件25一侧的表面胶合有密封垫,且密封垫的表面与出灰口24的内壁紧密贴合,用户通过35表面胶合有的密封垫,可对收集仓21的内部进行密封。且通过密封垫,可增大密封垫与出灰口24内壁接触时的摩擦力,避免产生滑脱;
[0028] 进一步的,防护机构3包括安装圈31,安装圈31的一侧与机体1的表面固定连接,安装圈31另一侧的表面设置有固定圈32,且固定圈32的一侧延伸至安装圈31的内部,固定圈32另一侧的表面胶合有塑料套33,且塑料套33的内部设置有抵触块34,并且抵触块34的一端与塑料套33的内壁固定连接,抵触块34另一端的表面与按钮4相互抵触,用户通过防护机构3,可对按钮4进行一定的防护,避免用户长时间直接手动按动,易对按钮4造成一定的损毁;
[0029] 进一步的,抵触块34的表面套设有弹簧,弹簧的一端与塑料套33的内壁固定连接,弹簧的另一端与抵触块34的表面固定连接,用户通过按动塑料套33,使得塑料套33带动抵触块34向一侧快速进行移动,不断挤压按钮4,使得装置快速得到开启运转,同时抵触块34移动挤压时,使得抵触块34表面的弹簧进行挤压,弹簧发生形变,若按钮4按动完成后,用户不再对塑料套33进行按动,通过弹簧的回弹力,可带动抵触块34自动进行复位。
[0030] 进一步的,抵触块34与按钮4相互靠近一侧的表面胶合有橡胶垫,且橡胶垫的外形呈凸状,抵触块34在与按钮4相互接触时,可通过抵触块34一侧胶合的橡胶垫,可对抵触块34接触时进行一定的缓冲,避免抵触块34直接与按钮4相互接触,且通过橡胶垫的外形呈凸状,可减少抵触块34与按钮4的接触面,增加接触力。
[0031] 进一步的,安装圈31的内壁开设有内螺纹,固定圈32的表面开设有外螺纹,用户可不断地拧动固定圈32,固定圈32通过与安装圈31开设的螺纹结构相互配合,使得固定圈32不断向外进行移动,离开安装圈31的内部,使得固定圈32不再与安装圈31进行固定,用户可快速的对塑料套33进行更换。
[0032] 工作原理:用户在使用该装置进行操作时,向装置内部添加半导体时,用户可首先需要将该装置鼓风机22外接电源,使得鼓风机22正常开启,鼓风机22不断在收集仓21内部进行快速吸风,通过第二连通管27不断对第一连通管26和吸风管件28进行作用,使得吸风管件28通过吸风口29不断向外进行快速吸食,产生风力,对添加元件时,外界空气夹带的部分灰尘进行快速的吸收,避免在传统添加时,外界空气中的部分灰尘会直接进入装置的内部,在装置长时间滞留,影响该装置对半导板的蚀刻效果,吸食来的灰尘通过第二连通管27不断向收集仓21内部进行注入,在收集仓21内部进行收集,落在收集仓21的底端,收集仓21内部在一段时间收集后,用户可不断地拧动塞件25,使得塞件25快速向下进行移动,离开出灰口24的内部,使得收集仓21内部存储的灰尘快速向外排出,快速对收集仓21内部存储收集的灰尘进行排泄;
[0033] 接着用户在需要对该装置的运转进行操作时,用户可通过按动塑料套33,使得塑料套33带动抵触块34向一侧快速进行移动,不断挤压按钮4,使得装置快速得到开启运转,同时抵触块34移动挤压时,使得抵触块34表面的弹簧进行挤压,弹簧发生形变,若按钮4按动完成后,用户不再对塑料套33进行按动,通过弹簧的回弹力,可带动抵触块34自动进行复位,塑料套33通过塑料的回弹性,可自动进行复位,且长时间进行按动时,用户可不断地拧动固定圈32,固定圈32通过与安装圈31开设的螺纹结构相互配合,使得固定圈32不断向外进行移动,离开安装圈31的内部,使得固定圈32不再与安装圈31进行固定,用户可快速的对塑料套33进行更换。
[0034] 对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。