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一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置   0    0

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专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2020-08-26
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2021-05-04
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2030-08-26
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 实用新型
申请号 CN202021805215.8 申请日 2020-08-26
公开/公告号 CN213103724U 公开/公告日 2021-05-04
授权日 2021-05-04 预估到期日 2030-08-26
申请年 2020年 公开/公告年 2021年
缴费截止日
分类号 B08B15/04H01L21/67 主分类号 B08B15/04
是否联合申请 独立申请 文献类型号 U
独权数量 1 从权数量 7
权利要求数量 8 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 2 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 陈霞 当前专利权人 陈霞
发明人 陈霞 第一发明人 陈霞
地址 广东省广州市番禺区西丽南路116号一街2栋602房 邮编 511400
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 广东省 申请人所在市 广东省广州市
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
摘要
本实用新型涉及半导体蚀刻机技术领域,具体为一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,包括机体和鼓风机,所述机体的一侧固定连接有吸风机构,所述收集仓一端的表面安装有鼓风机,所述收集仓另一侧的表面开设有出灰口,所述收集仓的一侧设置有第一连通管,所述第一连通管另一侧的两端皆安装有吸风管件,所述吸风管件的表面均匀开设有吸风口。本实用新型用户仅需要简单的将鼓风机开启,则可快速的对外界灰尘进行吸收,该装置对按钮起到一定的防护效果,避免传统装置按钮直接暴露在外界,用户在需要对装置进行正常开启时,直接对按钮进行按动,用户直接按动按钮,长时间操作易对按钮造成一定的损坏。
  • 摘要附图
    一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置
  • 说明书附图:图1
    一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置
  • 说明书附图:图2
    一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置
  • 说明书附图:图3
    一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置
  • 说明书附图:图4
    一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置
  • 说明书附图:图5
    一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2021-05-04 授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,包括机体(1)和鼓风机(22),其特征在于:
所述机体(1)的一侧固定连接有吸风机构(2),且吸风机构(2)包括收集仓(21),所述收集仓(21)一端的表面安装有鼓风机(22),并且鼓风机(22)的吸风端穿过收集仓(21)延伸至收集仓(21)的内部,所述收集仓(21)另一侧的表面开设有出灰口(24),且出灰口(24)远离收集仓(21)一侧的表面插设有塞件(25),所述收集仓(21)的一侧设置有第一连通管(26),且第一连通管(26)靠近收集仓(21)的一侧安装有第二连通管(27),并且第二连通管(27)的内部与第一连通管(26)的内部相连通,所述第二连通管(27)的一端穿过收集仓(21)延伸至收集仓(21)的内部,所述第一连通管(26)另一侧的两端皆安装有吸风管件(28),且吸风管件(28)的内部与第一连通管(26)的内部相连通,所述吸风管件(28)的表面均匀开设有吸风口(29),所述机体(1)的表面安装有两组按钮(4),且按钮(4)的表面皆套设有防护机构(3),并且防护机构(3)皆与机体(1)的表面固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述收集仓(21)的内部设置有过滤板(23),且过滤板(23)的四周皆与收集仓(21)的内部固定连接,且过滤板(23)一侧的表面与鼓风机(22)的吸风端相靠近。

3.根据权利要求1所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述收集仓(21)一端的内壁呈圆锥形漏斗状,所述收集仓(21)内壁一端的口径小于收集仓(21)另一端内壁的口径。

4.根据权利要求1所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述塞件(25)一侧的表面胶合有密封垫,且密封垫的表面与出灰口(24)的内壁紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述防护机构(3)包括安装圈(31),所述安装圈(31)的一侧与机体(1)的表面固定连接,所述安装圈(31)另一侧的表面设置有固定圈(32),且固定圈(32)的一侧延伸至安装圈(31)的内部,所述固定圈(32)另一侧的表面胶合有塑料套(33),且塑料套(33)的内部设置有抵触块(34),并且抵触块(34)的一端与塑料套(33)的内壁固定连接,所述抵触块(34)另一端的表面与按钮(4)相互抵触。

6.根据权利要求5所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述抵触块(34)的表面套设有弹簧,所述弹簧的一端与塑料套(33)的内壁固定连接,所述弹簧的另一端与抵触块(34)的表面固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述抵触块(34)与按钮(4)相互靠近一侧的表面胶合有橡胶垫,且橡胶垫的外形呈凸状。

8.根据权利要求5所述的一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,其特征在于:所述安装圈(31)的内壁开设有内螺纹,所述固定圈(32)的表面开设有外螺纹。
说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及半导体蚀刻机技术领域,具体为一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置。

背景技术

[0002] 光导体蚀刻机又称光导体刻蚀机,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其作用原理是将暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成等离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面;
[0003] 大多数到光导体蚀刻机加工条件要求必须远离灰尘较大的场所,要求加工环境无尘化,但现有大多数蚀刻机不具有一定的吸尘设备,操作人员在加工生产时,向蚀刻机内部添加光导体进行加工,打开机体的门仓,在添加过程常常会携带一定的粉尘进入装置内部,长时间的操作,灰尘在装置内部留滞,会严重影响导光板的正常蚀刻。实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的在于提供一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,以解决上述背景技术中提出的现有大多数蚀刻机不具有一定的吸尘设备,操作人员在加工生产时,向蚀刻机内部添加光导体进行加工,打开机体的门仓,在添加过程常常会携带一定的粉尘进入装置内部,长时间的操作,灰尘在装置内部留滞,会严重影响导光板的正常蚀刻的问题。
[0005] 为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,包括机体和鼓风机,所述机体的一侧固定连接有吸风机构,且吸风机构包括收集仓,所述收集仓一端的表面安装有鼓风机,并且鼓风机的吸风端穿过收集仓延伸至收集仓的内部,所述收集仓另一侧的表面开设有出灰口,且出灰口远离收集仓一侧的表面插设有塞件,所述收集仓的一侧设置有第一连通管,且第一连通管靠近收集仓的一侧安装有第二连通管,并且第二连通管的内部与第一连通管的内部相连通,所述第二连通管的一端穿过收集仓延伸至收集仓的内部,所述第一连通管另一侧的两端皆安装有吸风管件,且吸风管件的内部与第一连通管的内部相连通,所述吸风管件的表面均匀开设有吸风口,所述机体的表面安装有两组按钮,且按钮的表面皆套设有防护机构,并且防护机构皆与机体的表面固定连接。
[0006] 优选的,所述收集仓的内部设置有过滤板,且过滤板的四周皆与收集仓的内部固定连接,且过滤板一侧的表面与鼓风机的吸风端相靠近。
[0007] 优选的,所述收集仓一端的内壁呈圆锥形漏斗状,所述收集仓内壁一端的口径小于收集仓另一端内壁的口径。
[0008] 优选的,所述塞件一侧的表面胶合有密封垫,且密封垫的表面与出灰口的内壁紧密贴合。
[0009] 优选的,所述防护机构包括安装圈,所述安装圈的一侧与机体的表面固定连接,所述安装圈另一侧的表面设置有固定圈,且固定圈的一侧延伸至安装圈的内部,所述固定圈另一侧的表面胶合有塑料套,且塑料套的内部设置有抵触块,并且抵触块的一端与塑料套的内壁固定连接,所述抵触块另一端的表面与按钮相互抵触。
[0010] 优选的,所述抵触块的表面套设有弹簧,所述弹簧的一端与塑料套的内壁固定连接,所述弹簧的另一端与抵触块的表面固定连接。
[0011] 优选的,所述抵触块与按钮相互靠近一侧的表面胶合有橡胶垫,且橡胶垫的外形呈凸状。
[0012] 优选的,所述安装圈的内壁开设有内螺纹,所述固定圈的表面开设有外螺纹。
[0013] 与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型用户仅需要简单的将鼓风机开启,则可快速的对外界灰尘进行吸收,该装置对按钮起到一定的防护效果,避免传统装置按钮直接暴露在外界,用户在需要对装置进行正常开启时,直接对按钮进行按动,用户直接按动按钮,长时间操作易对按钮造成一定的损坏;
[0014] 1、通过设置有吸风机构,用户在使用该装置进行操作时,向装置内部添加光导体时,用户首先将该装鼓风机开启,由于鼓风机的开启,通过吸风口不断向外进行吸食,快速对外界的灰尘进行吸收,用户仅需要简单的将鼓风机开启,则可快速的对外界灰尘进行吸收,避免传统装置在添加元件时,打开装置门仓,灰尘会不断的渗透进入装置的内部,对装置的内部造成污染,影响装置对搬半导体的蚀刻效果;
[0015] 2、通过设置有防护机构,用户在对使用该装置进行操作时,用户直接按动塑料套,使得塑料套带动抵触块与按钮相互抵触,对该装置进行开启,同时对按钮起到一定的防护效果,避免传统装置按钮直接暴露在外界,用户在需要对装置进行正常开启时,直接对按钮进行按动,长期操作,用户直接按动按钮,长时间操作易对按钮造成一定的损坏,使得按钮出现接触不良的现象。

实施方案

[0022] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0023] 请参阅图1‑5,本实用新型提供的一种实施例:
[0024] 一种基于半导体蚀刻机用自动吸尘装置,包括机体1和鼓风机22,机体1的一侧固定连接有吸风机构2,且吸风机构2包括收集仓21,收集仓21一端的表面安装有鼓风机22,并且鼓风机22的吸风端穿过收集仓21延伸至收集仓21的内部,收集仓21另一侧的表面开设有出灰口24,且出灰口24远离收集仓21一侧的表面插设有塞件25,收集仓21的一侧设置有第一连通管26,且第一连通管26靠近收集仓21的一侧安装有第二连通管27,并且第二连通管27的内部与第一连通管26的内部相连通,第二连通管27的一端穿过收集仓21延伸至收集仓
21的内部,第一连通管26另一侧的两端皆安装有吸风管件28,且吸风管件28的内部与第一连通管26的内部相连通,吸风管件28的表面均匀开设有吸风口29,机体1的表面安装有两组按钮4,且按钮4的表面皆套设有防护机构3,并且防护机构3皆与机体1的表面固定连接;
[0025] 进一步的,收集仓21的内部设置有过滤板23,且过滤板23的四周皆与收集仓21的内部固定连接,且过滤板23一侧的表面与鼓风机22的吸风端相靠近,收集仓21内部通过安装有过滤板23,可避免收集仓21内部吸食的灰尘进入鼓风机22的内部,对鼓风机22造成一定的损还,从而影响鼓风机22的正常使用,对灰尘快速的进行一定的过滤;
[0026] 进一步的,收集仓21一端的内壁呈圆锥形漏斗状,收集仓21内壁一端的口径小于收集仓21另一端内壁的口径,用户在拧动塞件25,使得收集仓21的内部向外打开,通过收集仓21内壁呈圆锥形漏斗状,使得收集仓21内部存储的灰尘可以快速的向外进行排泄;
[0027] 进一步的,塞件25一侧的表面胶合有密封垫,且密封垫的表面与出灰口24的内壁紧密贴合,用户通过35表面胶合有的密封垫,可对收集仓21的内部进行密封。且通过密封垫,可增大密封垫与出灰口24内壁接触时的摩擦力,避免产生滑脱;
[0028] 进一步的,防护机构3包括安装圈31,安装圈31的一侧与机体1的表面固定连接,安装圈31另一侧的表面设置有固定圈32,且固定圈32的一侧延伸至安装圈31的内部,固定圈32另一侧的表面胶合有塑料套33,且塑料套33的内部设置有抵触块34,并且抵触块34的一端与塑料套33的内壁固定连接,抵触块34另一端的表面与按钮4相互抵触,用户通过防护机构3,可对按钮4进行一定的防护,避免用户长时间直接手动按动,易对按钮4造成一定的损毁;
[0029] 进一步的,抵触块34的表面套设有弹簧,弹簧的一端与塑料套33的内壁固定连接,弹簧的另一端与抵触块34的表面固定连接,用户通过按动塑料套33,使得塑料套33带动抵触块34向一侧快速进行移动,不断挤压按钮4,使得装置快速得到开启运转,同时抵触块34移动挤压时,使得抵触块34表面的弹簧进行挤压,弹簧发生形变,若按钮4按动完成后,用户不再对塑料套33进行按动,通过弹簧的回弹力,可带动抵触块34自动进行复位。
[0030] 进一步的,抵触块34与按钮4相互靠近一侧的表面胶合有橡胶垫,且橡胶垫的外形呈凸状,抵触块34在与按钮4相互接触时,可通过抵触块34一侧胶合的橡胶垫,可对抵触块34接触时进行一定的缓冲,避免抵触块34直接与按钮4相互接触,且通过橡胶垫的外形呈凸状,可减少抵触块34与按钮4的接触面,增加接触力。
[0031] 进一步的,安装圈31的内壁开设有内螺纹,固定圈32的表面开设有外螺纹,用户可不断地拧动固定圈32,固定圈32通过与安装圈31开设的螺纹结构相互配合,使得固定圈32不断向外进行移动,离开安装圈31的内部,使得固定圈32不再与安装圈31进行固定,用户可快速的对塑料套33进行更换。
[0032] 工作原理:用户在使用该装置进行操作时,向装置内部添加半导体时,用户可首先需要将该装置鼓风机22外接电源,使得鼓风机22正常开启,鼓风机22不断在收集仓21内部进行快速吸风,通过第二连通管27不断对第一连通管26和吸风管件28进行作用,使得吸风管件28通过吸风口29不断向外进行快速吸食,产生风力,对添加元件时,外界空气夹带的部分灰尘进行快速的吸收,避免在传统添加时,外界空气中的部分灰尘会直接进入装置的内部,在装置长时间滞留,影响该装置对半导板的蚀刻效果,吸食来的灰尘通过第二连通管27不断向收集仓21内部进行注入,在收集仓21内部进行收集,落在收集仓21的底端,收集仓21内部在一段时间收集后,用户可不断地拧动塞件25,使得塞件25快速向下进行移动,离开出灰口24的内部,使得收集仓21内部存储的灰尘快速向外排出,快速对收集仓21内部存储收集的灰尘进行排泄;
[0033] 接着用户在需要对该装置的运转进行操作时,用户可通过按动塑料套33,使得塑料套33带动抵触块34向一侧快速进行移动,不断挤压按钮4,使得装置快速得到开启运转,同时抵触块34移动挤压时,使得抵触块34表面的弹簧进行挤压,弹簧发生形变,若按钮4按动完成后,用户不再对塑料套33进行按动,通过弹簧的回弹力,可带动抵触块34自动进行复位,塑料套33通过塑料的回弹性,可自动进行复位,且长时间进行按动时,用户可不断地拧动固定圈32,固定圈32通过与安装圈31开设的螺纹结构相互配合,使得固定圈32不断向外进行移动,离开安装圈31的内部,使得固定圈32不再与安装圈31进行固定,用户可快速的对塑料套33进行更换。
[0034] 对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

附图说明

[0016] 图1为本实用新型的结构正视剖面示意图;
[0017] 图2为本实用新型中吸风机构的结构正视剖面示意图;
[0018] 图3为本实用新型的结构侧视剖面示意图;
[0019] 图4为本实用新型中防护机构的结构侧视剖面示意图;
[0020] 图5为本实用新型的结构正视示意图。
[0021] 图中:1、机体;2、吸风机构;21、收集仓;22、鼓风机;23、过滤板;24、出灰口;25、塞件;26、第一连通管;27、第二连通管;28、吸风管件;29、吸风口;3、防护机构;31、安装圈;32、固定圈;33、塑料套;34、抵触块;4、按钮。
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