实施方案
[0018] 下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0019] 请参阅图1‑4,本实用新型提供的一种实施例:
[0020] 一种具有清洗结构的半导体蚀刻机,包括机体1和电机215,机体1前端的顶部开设有机仓2,且机仓2内壁的左侧开设有左槽21,机仓2的右侧开设有右槽22,且右槽22的内部插设有转杆23,转杆23的左侧贯穿右槽22延伸至左槽21内部,转杆23的上下两端皆均匀开设有固槽24,且固槽24的内部皆插设有固块25,两组固块25相互远离的一端皆固定连接有转轮26,且转轮26的右侧皆固定连接有堵块27,机仓2内部右侧的上下两端皆开设有堵槽28,且堵槽28与堵块27对应分布,两组转轮26末端的相互靠近一端通过合页相连,一组转轮
26前端的底部开设有第一插槽29,第一插槽 29内壁的左右两侧皆开设有第二插槽210,一组转轮26前端的底部固定连接有第一插块211,且第一插块211的顶端位于第一插槽29 的内部,第一插块211左右两侧的顶端皆开设有第一拉伸槽212,且第一拉伸槽212的内部皆设置有第二插块213,两组第二插块213 相互远离的一端皆位于第二插槽210内部,机体1前端的右侧开设有机槽214,且机槽214的内部安装有电机215,机槽214与右槽22 相连通,且电机215的顶端位于右槽22内部,机体1左侧的前端固定连接有托块3,且托块3的顶部开设有托槽31,托槽31的顶端插设有喷头32,机仓2的底端开设有卡仓33,且卡仓33与机仓2相连通,卡仓33内部的左右两侧皆开设有卡槽34,卡仓33的内部设置有清洁滚轮35,且清洁滚轮
35的左右两侧皆开设有第二拉伸槽 36,第二拉伸槽36的内部皆设置有第三插块37,两组第三插块37 相互远离的一端皆位于卡槽34内部,卡仓33内壁的底部开设有污槽38,且污槽38与卡仓33相连通,污槽38内壁的左侧开设有喷口 39,且喷口39内壁的上下两端皆均匀胶合有橡胶垫,污槽38内壁的底端开设有出污口310,污槽38内壁的右侧呈斜面状;
[0021] 进一步的,左槽21内壁的上下两端嵌设有滚珠,转杆23上下两端的左侧皆开设有与滚珠相配合的半圆槽,滚珠皆位于半圆槽内部,转杆23的左侧开设有凹槽,电机215输出端的顶端与转杆23 相互靠近的一侧通过锥形齿轮组成传动连接,其作用为,用户可将机体1电连接,使得电机215输出端的顶端与转杆23相互靠近一侧的齿轮结构带动转杆23旋转,从而通过滚珠与半圆槽的配合,使得转杆23的左侧进行转动;
[0022] 进一步的,堵块27的表面皆均匀胶合有橡胶垫,橡胶垫的表面皆与堵槽28的内壁相抵,其作用为,通过橡胶垫增大堵块27与堵槽28的摩擦力,使得堵块27插入堵槽28内部,同时在使用喷头32 对机仓2内部进行清理时,橡胶垫将喷洒的水与右槽22隔离,避免污水进入右槽22内部;
[0023] 进一步的,两组第二插块213相互远离的一端皆与弹簧的一端固定连接,弹簧的另一端皆与第一拉伸槽212的内壁固定连接,其作用为,如转轮26表面因工作导致磨损严重或者损坏需要更换时,可将转轮26向上拉动,使得第一拉伸槽212内壁固定连接的弹簧发生形变,使得两组第二插块213相互远离的一面与第一插槽29的内壁相抵,即可将第一插槽29从第一插块211的顶部拔出;
[0024] 进一步的,两组第三插块37相互靠近的一端皆与弹簧的一端固定连接,弹簧的另一端皆与第二拉伸槽36的内壁固定连接,其作用为,用户如需对转轮26表面进行清理时可将清洁滚轮35放至卡仓 33内部,使得两组第三插块37相互远离的一端与卡仓33的内壁相抵,使得第二拉伸槽36内部的弹簧发生形变,而后通过弹簧的回弹力将两组第三插块37相互远离的一端插入卡槽34的内部。
[0025] 工作原理:用户在工作时如需对转轮26的表面进行清理时,可将清洁滚轮35放入卡仓33内部,使得两组第三插块37相互远离的一端与卡仓33的内壁相抵,使得第二拉伸槽36内部的弹簧发生形变,从而通过弹簧的回弹力将第三插块37插入卡槽34内部,从而对清洁滚轮35进行固定,而后可将固块25通过固槽24向右侧拉动,即可将转轮26右侧固定连接的堵块27插入堵槽28,使得转轮26 的右侧与右槽22相抵,通过堵块27表面胶合的橡胶垫使得右槽22 内部密封,即可将喷头32的底部与外接水管相连通,使用喷头32 对机仓2内壁上的化学药剂和转轮26表面的化学药剂进行喷洒,同时将机体1电连接,使得电机215输出端的顶端与转杆23相互靠近一侧的齿轮结构带动转杆23旋转,同时固槽24带动固块25使得转轮26进行旋转,使得转轮26表面与清洁滚轮35表面进行摩擦,对转轮26表面的化学药剂进行清理,清理后的污水可通过卡仓33流入污槽38内部,用户可将喷头32的顶端放至喷口39内部,使得喷头32的表面与喷口39内壁胶合的橡胶垫相抵,从而通过喷头32对污槽38内部进行喷洒,水喷洒至污槽38内壁右侧的斜面,使得水将污水通过斜面进入出污口310,即可通过出污口310将污水从污槽 38内部排出;
[0026] 用户如遇到转轮26表面因工作导致磨损严重或者损坏时,可将转轮26向上拉动,使得第一拉伸槽212内壁固定连接的弹簧发生形变,使得第一插块211与第二插槽210分离,使得两组第二插块213 相互远离的一面与第一插槽29的内壁相抵,即可将第一插槽29从第一插块211的顶部拔出,同时将固块25与固槽24分离,而后反向操作即可对转轮26进行更换。
[0027] 对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。