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一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
一种密封性能好的具有均匀喷淋功能的扩散炉
实用新型
有效专利
扩散炉
申请日:
2021-09-15
当前状态:
授权
国际分类号:
C30B31/10
、
C30B31/16
、
C30B29/06
、
H01L31/18
发明人:
卢其才
申请人:
卢其才
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