背景技术
[0002] 硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅,单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分,在对单晶硅进行中加工的时候需要高温加工装置对其进行高温碳还原。
[0003] 现有的单晶硅加工用高温加工装置,在使用时,无法使得装置快速对原料进行高温加热,加热速率慢,且现有的高温加工装置通过安装有观察窗用于观察加工进程,但是当装置内腔与外界存在温度差时,观察窗后侧通过会有水雾附着,影响观察者的观察体验,使用效果差。实用新型内容
[0004] 为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的之一在于提供一种单晶硅加工用高温加工装置。
[0005] 本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现:
[0006] 一种单晶硅加工用高温加工装置,包括箱体,所述箱体的前侧开设有开口,且所述箱体的前侧设有与开口相互匹配的活动门,所述箱体的内腔左右两侧中间位置处均固定连接有电加热板,所述箱体的内腔底部设有放置盒,且所述放置盒的底部靠近左右两侧处均固定连接有第一滑块,所述箱体内腔底部靠近左右两侧处均开设有第一滑槽,且两个所述第一滑块分别活动连接在相邻的第一滑槽内腔,所述放置盒的内腔设有夹持机构,所述放置盒的顶部设有与之相互匹配的顶盖,所述顶盖的顶部设有升降机构。
[0007] 进一步的,所述活动门的左侧设有若干个合页,且所述活动门通过若干个合页与箱体活动连接,所述活动门的前侧靠近右侧处固定连接有把手,所述活动门的前侧靠近中间位置处固定连接有观察窗。
[0008] 进一步的,所述活动门的后侧固定连接有两个固定板,且两个所述固定板分别位于观察窗的左右两侧,两个所述固定板上均固定连接有两个第一轴承,且两个所述第一轴承为上下设置,所述观察窗的后侧靠近右侧处设有连接板,且所述连接板的前侧固定连接有棉布,所述连接板的顶部与底部均固定连接有第一螺纹套,且所述第一螺纹套内腔贯穿设有第一螺纹杆,所述箱体右侧靠近顶部处固定连接有第一防护壳,且所述第一防护壳内腔右侧固定连接有第一伺服电机,所述箱体右侧固定连接有两个第二轴承,且两个所述第二轴承为上下设置,位于底部的所述第一螺纹杆左端插接在相邻第一轴承内腔,且所述第一螺纹杆的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并延伸至箱体的外侧,位于顶部的所述第一螺纹杆左端插接在相邻第一轴承内腔,且所述第一螺纹杆的右端贯穿相邻第一轴承和第二轴承内腔,并与第一伺服电机的动力输出端固定连接,两个所述第一螺纹杆之间设有皮带,所述第一防护壳底部开设有与皮带相互匹配的通孔,且两个所述第一螺纹杆之间通过皮带传动连接。
[0009] 进一步的,所述夹持机构包括两个夹板,且两个所述夹板分别位于放置盒的内腔底部靠近左右两侧处,两个所述夹板的底部均固定连接有第二滑块,所述放置盒的内腔底部靠近左右两侧处均开设有第二滑槽,且两个所述第二滑块分别活动连接在相邻的第二滑槽内腔,两个所述夹板相远离的一侧均固定连接有第三轴承,且所述第三轴承内腔插接有第二螺纹杆,所述放置盒左右两侧均固定连接有第二螺纹套,两个所述第二螺纹杆远离相邻夹板的一端分别贯穿相邻的第二螺纹套内腔,并固定连接有手摇轮。
[0010] 进一步的,所述升降机构包括转盘,且所述转盘位于顶盖的顶部靠近后侧处,所述转盘的内腔设有转轴,所述箱体的内腔后侧靠近顶部处固定连接有第四轴承,所述转轴的后端插接在第四轴承内腔,且所述转轴的前端固定连接有活动板,所述活动板的前侧靠近左侧处活动连接有连杆,且所述连杆远离活动板的一端与顶盖的顶部铰接,所述转轴上靠近后端处套设有蜗轮,且所述蜗轮的顶部啮合有蜗杆,所述箱体右侧靠近顶部处固定连接有第二防护壳,且所述第二防护壳内腔右侧固定连接有第二伺服电机,所述箱体右侧靠近顶部处固定连接有第五轴承,所述蜗杆的右端贯穿第五轴承内腔,并与第二伺服电机的动力输出端固定连接。
[0011] 进一步的,所述顶盖的顶部靠近四角处均固定连接有伸缩杆,且所述伸缩杆的顶端与箱体内腔顶部固定连接。
[0012] 进一步的,所述棉布的前侧与活动门的后侧相贴合,且所述棉布的高度与观察窗的高度一致。
[0013] 相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
[0014] 1、通过夹板、第二螺纹杆、第二螺纹套和手摇轮之间的相互配合便于对原料进行夹持固定,且通过伸缩杆、转盘、转轴、活动板、连杆、蜗轮、蜗杆和第二伺服电机之间的相互配合便于对顶盖进行升降,从而可以在高温加工时,加料原料的升温速度,提高加工效率;
[0015] 2、通过第一伺服电机、第一螺纹杆、皮带、第一螺纹套、连接板和棉布之间的相互配合可以对观察窗后侧附着的水雾进行擦拭,便于观察者更好的观察装置内腔加热情况,使用效果好。
[0016] 上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。