[0004] 本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，该检测方法所要解决的技术问题是：如何提高薄膜电阻产热均匀性判断的精确性。
[0005] 本发明的目的可通过下列技术方案来实现：一种薄膜电阻产热均匀性的检测方法，包括：建立三维坐标系；给镀在厚度为L的导热介质表面的薄膜电阻通电流，构成模拟热源；加热时间t0后，测量薄膜电阻表面的温度，得到T0(x，y，z＝L，t＝t0)；其特征在于，所述检测方法还包括：
[0006] 对热流密度q(x，y)进行构建，令：q(x,y)＝q0+Pn(x)*Pm(y)，其中，
[0007]
[0008] m和n为常数，q0为假定的均匀热流密度；通过对m和n取不同数值从而得到对应T0(x，y，z＝L，t＝t0)差值最小的热流密度qi(x，y)；将求得的qi(x，y)代入下述等式中以判断薄膜电阻产热是否均匀，在U的数值等于1时判断薄膜电阻产热是均匀的，
[0009]
[0010] 式中：qij(x，y)为薄膜电阻的热流密度， 为平均热流密度，n为取样点数。
[0011] 本薄膜电阻产热均匀性的检测方法的工作原理为：对热流密度进行构建，通过m和n取不同的数值来获得多个不同的热流密度qi(x，y)的分布，而每个热流密度qi(x，y)都对应一个温度分布，最接近T0(x，y，z＝L，t＝t0)的温度分布所对应的qi(x，y)即为薄膜电阻的热流密度，再通过上述等式进行判断，可精确地获得薄膜电阻产热是否均匀以及均匀性情况，在U等于1时认为薄膜电阻是产热均匀的，为理想均匀的镀膜技术。
[0012] 在上述的薄膜电阻产热均匀性的检测方法中，m和n取值不同，将得到不同的热流密度qi(x，y)，将得到的热流密度qi(x，y)逐个代入到下述三维热传导方程式中，进而能够得到每个热流密度qi(x，y)所对应的温度分布T’i(x，y，z＝L，t＝t0)，
[0013]
[0014] 式中，b，d分别为介质在x方向和y方向的宽度。
[0015] 通过获取每个热流密度qi(x，y)所对应的温度分布T’i(x，y，z＝L，t＝t0)，能够精确获得对应T0(x，y，z＝L，t＝t0)的热流密度，进而提高薄膜电阻产热均匀性判断的精确性。
[0016] 在上述的薄膜电阻产热均匀性的检测方法中，设Δi＝|T’i(x,y,z＝L,t＝t0)-T0(x,y,z＝L,t＝t0)|，从而获得Δi最小值时所对应的qi(x，y)，此时的qi(x，y)即为薄膜电阻的热流密度。
[0017] 在上述的薄膜电阻产热均匀性的检测方法中，采用差分或有限元法获得每个热流密度qi(x，y)所对应的温度分布Ti’(x，y，z＝L，t＝t0)。采用差分或有限元法能够快速获得三维热传导方程式的数值解，提高效率。
[0018] 在上述的薄膜电阻产热均匀性的检测方法中，构建热流密度q(x，y)的过程包括：假设薄膜电阻在x方向和y方向上产热都是均匀的，则得到以下一维热传导方程式：
[0019]
[0020] 求解上述方程式可得：
[0021]
[0022] 当t＝t0，z＝L时，温度分布可表示为
[0023] 则：
[0024]
[0025] 式中：q0为假定的均匀热流密度，T0为室温，λ、ρ、c分别为介质的热导率、密度和比热容，T(z＝L,t＝t0)为加热t0时间后在z＝L处的温度分布。q0值的获取，可提高获取热流密度qi(x，y)的精确性以及节省时间。
[0026] 在上述的薄膜电阻产热均匀性的检测方法中，通过热像仪检测薄膜电阻表面的温度。热像仪在对焦后，无需再进行移动，测量温度实时性好，使用方便，能快速测得整个面的温度。
[0027] 与现有技术相比，本薄膜电阻产热均匀性的检测方法通过对热流密度进行构建的方式，能够精确获得与薄膜电阻温度分布最接近的热流密度，进而能够更精确的判断薄膜电阻产热均匀性的情况。
