[0018] 本说明书中公开的所有特征,或公开的所有方法或过程中的步骤,除了互相排斥的特征和/或步骤以外,均可以以任何方式组合。
[0019] 本说明书中公开的任一特征,除非特别叙述,均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即,除非特别叙述,每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
[0020] 如图1-3所示,本发明装置的一种半导体集成圆片制造设备,包括基座10以及与所述基座10一体式设置的机架20,所述机架20中上下延伸设置有第一滑动槽21和第二滑动槽26,所述第一滑动槽21和第二滑动槽26之间相互连通设有第一转动槽23,所述第一滑动槽
21中滑动安装有第一滑动臂212,所述第一滑动臂212右侧端面设有第一齿条,所述第二滑动槽26中滑动安装有第二滑动臂25,所述第二滑动臂25左侧端面设有第二齿条,所述第一转动槽23中转动安装有与所述第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮231,所述第二滑动槽26右侧端壁中连通设置有开口朝右的升降槽24,所述升降槽24中滑动安装有升降臂
251,所述升降臂251左侧端面与所述第二滑动臂25右侧端面顶部固定连接,所述升降臂251中设有切割组件,所述切割组件包括固定设置于所述升降臂251底部端面中心位置处的安装座40以及设置于所述安装座40底部端面且开口朝下的伸缩腔41,所述伸缩腔41中滑动安装有伸缩块42,所述伸缩腔41顶壁中左右对称设置有液压缸46,所述液压缸46的液压杆47伸入所述伸缩腔41中且与所述伸缩块42顶部端面固定连接,所述伸缩块42底部端面内设有开口朝下的第二转动腔43,所述第二转动腔43中通过转动轴44可转动的设置有切割轮431,所述转动轴44左侧端可转动的设置于所述第二转动腔43左侧内壁,右侧端与固定设置于所述第二转动腔43右侧内壁中的第一电机45动力连接,所述第一电机45外侧设有护托装置,所述护托装置包括抗振垫451与散热翅片452,所述第一电机45上方的所述第二转动腔43左右两侧内壁中对称设置有开口朝向所述第二转动腔43的滑腔48,所述滑腔48中滑动安装有滑动块49,所述滑动块49远离所述第二转动腔43的端面内固定设有永磁体50,所述滑腔48与所述永磁体50相对的端面中设有与所述永磁体50相配合的电磁驱动装置51,所述滑动块
49远离所述永磁体50的端面固定设有伸入所述第二转动腔43中且与所述切割轮431外表面摩擦配合连接的摩擦块55,所述基座10中设有夹持装置。
[0021] 有益地或示例性地,其中,所述夹持装置包括横向延伸设置于所述基座10顶部端面的第三滑动槽11以及设置于所述第三滑动槽11顶壁且连通外部的缝隙槽16,所述第三滑动槽11左右两侧对称设置有第三滑动臂15,左右两个所述第三滑动臂15之间的所述第三滑动槽11中固定设置固定座12,所述固定座12中固定安装有第二电机13,所述第二电机13左右两侧分别动力安装有螺杆14,所述螺杆14与所述第三滑动臂15螺纹配合连接,所述缝隙槽16中滑动安装有底部与所述第三滑动臂15顶部固定连接的连接臂17,所述连接臂17顶部伸出所述基座10顶部端面外,且所述连接臂17顶部固定设置有夹持环18,从而实现夹持操作。
[0022] 有益地或示例性地,其中,所述第三滑动槽11左侧的所述机架20中设有第三转动腔28,所述第三转动腔28中可转动的设置有绕线轮281,所述第三转动腔28右侧底壁与所述第三滑动槽11左侧底壁之间相互连通设置有第一过线槽30,所述第三转动腔28左侧顶壁与所述第二滑动槽26底壁之间设有第二过线槽29,所述绕线轮281上绕设有拉绳27,所述拉绳27一端穿过所述第一过线槽30并与左侧的所述第三滑动臂15左侧端面固定连接,所述拉绳
27另一端穿过所述第二过线槽29后伸入所述第二滑动槽26中并与所述第二滑动臂25底部固定连接。
[0023] 有益地或示例性地,其中,所述夹持环18内侧端面均设有夹持片19,从而增加夹持稳固性。
[0024] 有益地或示例性地,其中,所述第一滑动臂212顶部端面设有与所述电磁驱动装置51电性连接的导电片213,所述第一滑动槽21内顶壁设有与导电片213相配合且与市电连接的供电片214,从而实现自动控制供电连接。
[0025] 有益地或示例性地,其中,所述第二滑动槽26内顶壁设有凹槽241,所述凹槽241中设有与所述第二滑动臂25顶部固定连接的拉伸弹簧242,所述拉伸弹簧242用于将所述第二滑动臂25向上拉伸而使所述升降臂251左侧顶部端面与所述升降槽24内顶壁相抵,同时可使所述导电片213与所述供电片214脱离连接。
[0026] 有益地或示例性地,其中,所述滑腔48上下端壁中对称设有导滑槽52,所述导滑槽52中滑动安装有与所述滑动块49固定连接的滑动凸出53,所述导滑槽52中还固定设置有与所述滑动凸出53相抵的顶压弹簧54,所述顶压弹簧54用以将所述滑动块49朝向所述第二转动腔43中顶压而使所述摩擦块55与所述切割轮431顶紧摩擦配合。
[0027] 有益地或示例性地,所述抗振垫451设置在所述第一电机45的上端和下端且与所述第一电机45固定连接,所述散热翅片452设置在所述第一电机45的前端和后端且与所述第一电机45的外壳固定连接,所述散热翅片452的上端和下端均与所述抗振垫451固定连接,所述第一电机45的前端和后端分别设有多组所述散热翅片452,所述散热翅片452用以吸收并散发所述第一电机45运行时产生的热量,所述抗振垫451用以减少所述第一电机45在运行时产生的震动力从而防止所述第一电机45在运行时产生的震动力,防止震动力过大而影响本装置的正常运行。
[0028] 本发明装置在初始状态时,在所述拉伸弹簧242的作用下,所述第二滑动臂25顶部端面与所述第二滑动槽26内顶壁相抵,所述升降臂251左侧顶部端面与所述升降槽24内顶壁相抵,所述第一滑动臂212底部端面与所述第一滑动槽21内底壁相抵,所述导电片213与所述供电片214脱离连接,在所述顶压弹簧54的作用下,所述摩擦块55与所述切割轮431外表面顶紧摩擦配合。
[0029] 切割时,将原矿石放置于所述基座10顶部端面,然后控制所述第二电机13运行,使所述螺杆14驱动两侧的所述第三滑动臂15向内侧滑动,从而可使两侧的所述夹持环18对原矿石进行夹紧操作,在左侧的所述述第三滑动臂15向内侧滑动过程中可通过拉绳27拉动所述第二滑动臂25向下滑动,所述第二滑动臂25向下滑动时可带动所述升降臂251以及切割组件向下滑动,而与此同时,所述第二滑动臂25向下滑动时可通过转动齿轮231驱动所述第一滑动臂212向上滑动,当所述切割轮431与原矿石表面相抵时,所述导电片213与所述供电片214接触,此时,所述电磁驱动装置51通电,所述电磁驱动装置51通电后可控制所述滑动块49克服所述顶压弹簧的作用力向外侧滑动,从而可使所述摩擦块55与所述切割轮431脱离配合,而后控制第一电机45与所述液压缸46运行,使第一电机带动所述切割轮431转动,并由所述液压缸46提供向下推力从而实现对原矿石的切割操作;
[0030] 切割完成后,驱动所述第二电机13反向运行,使所述第三滑动臂15带动所述夹持环18相对远离滑动,与此同时,所述导电片213与所述供电片214脱离接触,所述电磁驱动装置51断电,在所述顶压弹簧54的作用下,所述摩擦块55与所述切割轮431顶紧配合,当所述左侧的所述第三滑动臂15左侧端面与所述第三滑动槽11左侧内壁相抵时,停止运行所述第二电机13,此时在所述拉伸弹簧242的作用下,所述机架20恢复至初始状态。
[0031] 本发明的有益效果是:本发明结构简单,操作简便通过机架中上下延伸设置有第一滑动槽和第二滑动槽,第一滑动槽和第二滑动槽之间相互连通设有第一转动槽,第一滑动槽中滑动安装有第一滑动臂,第一滑动臂右侧端面设有第一齿条,第二滑动槽中滑动安装有第二滑动臂,第二滑动臂左侧端面设有第二齿条,第一转动槽中转动安装有与第一齿条和第二齿条啮合设置的转动齿轮,第二滑动槽右侧端壁中连通设置有开口朝右的升降槽,升降槽中滑动安装有升降臂,升降臂左侧端面与第二滑动臂右侧端面顶部固定连接,升降臂中设有切割组件,切割组件包括固定设置于升降臂底部端面中心位置处的安装座以及设置于安装座底部端面且开口朝下的伸缩腔,伸缩腔中滑动安装有伸缩块,伸缩腔顶壁中左右对称设置有液压缸,液压缸的液压杆伸入伸缩腔中且与伸缩块顶部端面固定连接,伸缩块底部端面内设有开口朝下的第二转动腔,第二转动腔中通过转动轴可转动的设置有切割轮,转动轴左侧端可转动的设置于第二转动腔左侧内壁,右侧端与固定设置于第二转动腔右侧内壁中的第一电机动力连接,第一电机上方的第二转动腔左右两侧内壁中对称设置有开口朝向第二转动腔的滑腔,滑腔中滑动安装有滑动块,滑动块远离第二转动腔的端面内固定设有永磁体,滑腔与永磁体相对的端面中设有与永磁体相配合的电磁驱动装置,滑动块远离永磁体的端面固定设有伸入第二转动腔中且与切割轮外表面摩擦配合连接的摩擦块,基座中设有夹持装置,从而可大大提高切割效率,可大大降低劳动强度,同时可大大提高切割时的安全性。
[0032] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。