[0022] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0023] 实施例1在本实施例中，如图1至图6所示，本实施例提供了一种磷化铟加工用输送系统，其
包括：上料机构1、上料输送机构2、转运机构3、清理机构4和下料输送机构5；其中所述上料输送机构2设置上料输入区域，上料输出区域，所述上料机构1、转运机构3分别位于上料输入区域，上料输出区域处；所述转运机构3活动设置在清理机构4上，所述下料输送机构5位于转运机构3的行进路线上；所述上料机构1在磷化铟晶圆放置处吸附单片磷化铟晶圆送至上料输送机构2上，以使相应磷化铟晶圆沿所述上料输送机构2输送至转运机构3下方，即所述转运机构3在清理机构4上做圆周运动，并在所述上料输送机构2吸附相应磷化铟晶圆转运至下料输送机构5；以及所述清理机构4对转动的转运机构3的表面进行清洁、润滑。
[0024] 在本实施例中，本实施例通过设置上料机构1将磷化铟晶圆搬运到上料输送机构2进行输送、加工，并由转运机构3将在上料输送机构2加工完成的磷化铟晶圆转运到下料输送机构5进行最终下料，同时通过清理机构4不断对转运机构3进行清洁、润滑，能够避免脏污、不够润滑影响转运机构3的输送效率，保证转运持续进行。
[0025] 在本实施例中，所述上料机构1包括：吊装在上料输送机构2上方的两个第一X轴滑轨组件11、第一Y轴滑轨组件12、第一Z轴滑轨组件13、上料夹爪组件14和上料吸盘组件15；两个所述第一X轴滑轨组件11平行设置，且两个所述第一X轴滑轨组件11与上料输送机构2相垂直；所述第一Y轴滑轨组件12活动架设在两个第一X轴滑轨组件11之间，所述第一Y轴滑轨组件12沿上料输送机构2的输送方向设置；所述第一Z轴滑轨组件13纵向活动安装在第一Y轴滑轨组件12上，所述上料夹爪组件14固定在第一Z轴滑轨组件13的底部，所述上料吸盘组件15位于上料夹爪组件14的夹持部；所述第一Y轴滑轨组件12在两个第一X轴滑轨组件11上移动，所述第一Z轴滑轨组件13在第一Y轴滑轨组件12上移动，所述上料夹爪组件14在第一Z轴滑轨组件13上移动，以带动所述上料吸盘组件15移动至磷化铟晶圆放置处吸附单片磷化铟晶圆送至上料输送机构2。
[0026] 在本实施例中，第一X轴滑轨组件11、第一Y轴滑轨组件12、第一Z轴滑轨组件13均包含电动滑轨，即第一Y轴滑轨组件12活动限位在第一X轴滑轨组件11上，第一Z轴滑轨组件13活动限位在第一Y轴滑轨组件12上，上料夹爪组件14活动限位在第一Z轴滑轨组件13上，从而实现上料夹爪组件14三轴移动，能够在磷化铟晶圆放置处吸附单片磷化铟晶圆送至上料输送机构2。
[0027] 在本实施例中，所述上料夹爪组件14包括：上料柱141和若干上料夹块142；所述上料柱141底部周向设置若干滑动槽，各所述上料夹块142活动限位安装在对应滑动槽内，即各所述上料夹块142在滑动槽内移动至相应位置，并通过相应螺栓锁住。
[0028] 在本实施例中，根据磷化铟晶圆的规格调整各上料夹块142在上料柱141上的位置，从而实现上料夹爪组件14吸附不同规格的磷化铟晶圆，提高加工兼容性。
[0029] 在本实施例中，所述上料吸盘组件15包括：若干上料吸附盘；各所述上料吸附盘固定在对应上料夹块142的底部，即通过相应上料吸附盘吸附磷化铟晶圆。
[0030] 在本实施例中，通过上料吸附盘能够实现与磷化铟晶圆之间的软接触，能够保护磷化铟晶圆。
[0031] 在本实施例中，所述上料输送机构2包括：上料输送带；所述上料输送带将上料机构1在上料输入区域投放的磷化铟晶圆输送至下料输出区域，以使所述转运机构3将磷化铟晶圆转运至下料输送机构5。
[0032] 在本实施例中，上料输送带在上料输入区域与下料输出区域之间设置加工区域，对输送的磷化铟晶圆进行加工。
[0033] 在本实施例中，所述转运机构3包括：旋转轴31、旋转座32、三轴机械手33和下料吸盘组件34；所述旋转轴31穿过清理机构4并活动安装在加工平台上，且所述旋转轴31的底部与旋转电机连接；所述旋转座32安装在旋转轴31的顶部，所述三轴机械手33安装在旋转座32上，所述下料吸盘组件34位于三轴机械手33的夹持部；所述旋转轴31在旋转电机驱动下旋转，以带动所述旋转座32、三轴机械手33做圆周运动，即转动至所述上料输送机构2正上方时，所述三轴机械手33带动下料吸盘组件34朝向上料输送机构2运动，以使所述下料吸盘组件34吸附相应磷化铟晶圆并抬起；直至转动至所述下料输送机构5正上方时，所述三轴机械手33带动下料吸盘组件34朝向下料输送机构5运动，以使所述下料吸盘组件34将吸附的磷化铟晶圆送至下料输送机构5。
[0034] 在本实施例中，三轴机械手33通过旋转座32绕旋转轴31转动，能够在圆周区域内吸附磷化铟晶圆，从而实现将上料输送机构2上的磷化铟晶圆转动到下料输送机构5。
[0035] 在本实施例中，所述清理机构4包括：清理圆台41、移动管42、吹龙43、蝶形气囊44和弧形板45；所述清理圆台41的圆心位置开设有圆形槽411，所述旋转轴31穿过圆形槽411；所述旋转轴31与圆形槽411的槽壁之间形成环形通道，所述移动管42位于环形通道内且与圆形槽411的槽壁活动连接；所述弧形板45位于清理圆台41上且与清理圆台41同圆心设置；
所述移动管42的顶部设置有吹龙43、蝶形气囊44，所述吹龙43朝向旋转轴31设置，所述蝶形气囊44与吹龙43反向设置，所述移动管42在环形通道内转动，即当所述蝶形气囊44未接触弧形板45时，所述吹龙43处于收缩状态，所述吹龙43的外侧面抵于旋转轴31表面，以对所述旋转轴31的表面进行清洁；当所述蝶形气囊44接触弧形板45并抵住弧形板45继续运动时，所述蝶形气囊44向吹龙43中鼓入空气以使吹龙43展开，以使所述吹龙43的内侧面抵于旋转轴31表面，且所述吹龙43的内侧面开设若干排液孔431，所述蝶形气囊44中储存有清洗液；
所述蝶形气囊44中清洗液在气压作用下通过相应排液孔431注于旋转轴31表面。
[0036] 在本实施例中，弧形板45设置在蝶形气囊44行进方向上，由于蝶形气囊44是软质材料，能够在触碰、抵压弧形板45的时候对吹龙43进行鼓气，从而改变吹龙43的状态，即吹龙43处于收缩状态时吹龙43的外侧面对旋转轴31擦洗，吹龙43处于展开状态时吹龙43的内侧面向旋转轴31表面喷涂清洗液，提高对旋转轴31的清洁效果。
[0037] 在本实施例中，移动管42内嵌齿轮及齿轮电机，在圆形槽411的槽壁内设置与齿轮啮合的齿条，通过齿轮电机、齿轮与齿条配合实现移动管42在环形通道内转动，从而实现吹龙43对旋转轴31表面反复清洁。
[0038] 在本实施例中，所述圆形槽411的槽底且沿环形通道均匀排列若干收集孔，所述移动管42呈棱柱形，且所述移动管42的棱尖部与旋转轴31相接触，以刮除所述旋转轴31表面的混合液。
[0039] 在本实施例中，通过收集孔能够及时将混合液排出，避免混合液从环形通道溢出。
[0040] 在本实施例中，所述清理圆台41上开设有弧形槽412，所述弧形槽412位于圆形槽411与弧形板45之间，且所述弧形槽412的一端与圆形槽411之间的距离小于弧形槽412的另一端与圆形槽411之间的距离；所述弧形槽412内设置有移动块46，所述移动块46与弧形槽
412的槽壁活动连接，所述弧形板45的底部沿周向延伸形成挡块451，所述移动块46穿有一根挤压杆47，所述挤压杆47的一端朝向移动管42设置，所述挤压杆47的另一端朝向挡块451设置；所述移动块46在弧形槽412内移动，以使所述挤压杆47的一端抵住挡块451，所述挤压杆47的另一端抵住移动管42，且在所述移动管42内存储有润滑液，所述移动管42朝向旋转轴31设置有通油孔，即所述挤压杆47抵压移动管42使润滑液从通油孔喷涂在旋转轴31上，以对旋转轴31表面进行润滑。
[0041] 在本实施例中，移动块46与弧形槽412的连接结构与移动管42与圆形槽411的连接结构相同。
[0042] 在本实施例中，移动管42为软质材料，在被挤压杆47抵压下挤出润滑液从通油孔喷涂在旋转轴31上。
[0043] 在本实施例中，由于弧形槽412上每个节点与圆形槽411存在一个距离差，从而能够实现移动块46在弧形槽412内移动时带动挤压杆47挤压移动管42，能够起到对旋转轴31润滑的作用，保证转运持续进行。
[0044] 在本实施例中，所述下料输送机构5包括：下料输送带；所述下料输送带将磷化铟晶圆输送至相应位置处。
[0045] 综上所述，本发明通过设置上料机构将磷化铟晶圆搬运到上料输送机构进行输送、加工，并由转运机构将在上料输送机构加工完成的磷化铟晶圆转运到下料输送机构进行最终下料，同时通过清理机构不断对转运机构进行清洁、润滑，能够避免脏污、不够润滑影响转运机构的输送效率，保证转运持续进行。
[0046] 本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0047] 在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0048] 在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0049] 在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
[0050] 所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
[0051] 另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
[0052] 以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
