背景技术
[0002] 扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉有垂直扩散炉和水平扩散炉两种类型，现有的扩散均匀且高效的扩散炉存在一些问题，如不便于进行位置的转移，当需要对其进行转移时，需要借助吊装设备进行配合，增加工作人员的工作难度，不利于人们的使用。实用新型内容
[0003] 本实用新型的目的在于提供一种扩散均匀且高效的扩散炉，具备便于进行位置转移的优点，解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题。
[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散均匀且高效的扩散炉，包括底座，所述底座的顶部固定连接有扩散炉本体，所述底座内腔的顶部固定连接有调节壳，所述调节壳内腔的顶部固定连接有第一电机，所述第一电机输出端的两侧均固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面套设有螺纹套，所述螺纹套的底部活动连接有连接杆，所述连接杆的底部活动连接有压板，所述压板的底部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部贯穿至底座的外侧，所述底座的底部设置有稳定板，所述稳定板的顶部与支撑杆固定连接，所述底座内腔的两侧均固定连接有控制箱，所述控制箱的底部贯穿至底座的外侧，所述控制箱内腔的顶部和底部之间固定连接有滑杆，所述滑杆的表面套设有滑套，两个滑套相对的一侧均贯穿至底座的内腔并固定连接有齿板，所述底座内腔的后侧且位于调节壳的两侧均固定连接有第二电机，所述第二电机输出端的前侧固定连接有齿轮，两个齿轮相反的一侧均与齿板啮合，所述滑套的底部固定连接有移动轮，所述移动轮的底部贯穿至控制箱的外侧，两个滑套相反的一侧均开设有卡槽，所述底座两侧的底部均设置有限位壳，两个限位壳相对的一侧均贯穿底座并与控制箱固定连接，所述限位壳内腔的底部固定连接有气缸，两个气缸相对一侧的输出端均固定连接有卡杆，所述卡杆远离气缸的一侧贯穿至控制箱的内腔。
[0005] 优选的，所述扩散炉本体底部的两侧均固定连接有液压缸，所述液压缸输出端的底部固定连接有支撑板。
[0006] 优选的，所述螺纹杆远离第一电机的一侧与调节壳的内壁活动连接，所述连接杆的顶部和底部与螺纹套和压板均通过转轴活动连接。
[0007] 优选的，所述底座的底部开设有与支撑杆配合使用的第一开口，两个压板相反的一侧均固定连接有滑块，所述调节壳内腔的两侧均开设有与滑块配合使用的滑槽。
[0008] 优选的，所述滑套的顶部固定连接有拉簧，所述拉簧的顶部与控制箱的内壁固定连接，所述控制箱的底部开设有与移动轮配合使用的第二开口。
[0009] 优选的，所述稳定板的底部固定连接有防滑垫，所述底座正表面的两侧均开设有散热口。
[0010] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
[0011] 1、本实用新型通过设置第一电机、螺纹杆、螺纹套、连接杆、压板、支撑杆、稳定板、滑杆、滑套、齿板、第二电机、齿轮、移动轮、卡槽、气缸和卡杆，解决了现有扩散均匀且高效的扩散炉不便于进行位置转移的问题，该扩散均匀且高效的扩散炉，具备便于进行位置转移的优点，值得推广。
[0012] 2、本实用新型通过设置螺纹杆，能够与第一电机配合控制螺纹套和连接杆的使用位置，通过设置支撑杆，能够与压板配合控制稳定板的使用位置，通过设置滑杆和滑套，能够与齿板配合控制移动轮的使用高度，通过设置卡槽，能够与卡杆配合控制滑套的使用位置，通过设置液压缸和支撑板，能够方便移动轮的使用。
