[0020] 下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。
[0021] 实施例1
[0022] 本发明基于一维氧化锌/石墨烯纳米复合材料的气敏传感器元件的制备方法步骤如下：
[0023] 1、首先利用等离子清洗机对负载CVD石墨烯的气敏传感器件（气敏传感器件负载石墨烯的制备过程参照文献（New Journal of Chemistry, 38(2014),2362-2367）进行清洗，启动真空泵，抽完真空后，打开氧气的气路阀门，向清洗机中通入氧气，控制清洗机中压强达到60Pa-80Pa，启动清洗机，清洗时间2mins-5mins。
[0024] 2、将清洗过的负载CVD石墨烯的气敏传感元件置于磁控溅射设备的真空室，采用质量纯度为99.99%的金属锌作为靶材，以质量纯度为99.99%的氩气作为工作气体，在经过清洗后的气敏传感元件上溅射沉积金属锌薄膜；
[0025] 3、沉积金属锌薄膜的过程中，靶材与基台的距离为50-150mm，先将腔室抽真空至1×10-4-5×10-4Pa。之后通入Ar，移除表面的污染物。
[0026] 4、调节Ar流量使腔室压强为1.5Pa，通入气体后，对气敏传感元件进行加热，温度达到300℃，沉积功率为100W，预溅射10mins左右,再计时溅射20mins。
[0027] 5、溅射完成后，待系统温度冷却至室温，再向真空室充入氮气，达到正常气压时打开真空室取出负载金属锌/石墨烯气敏传感器件。
[0028] 6、一维氧化锌/石墨烯纳米复合气敏传感膜的制备：
[0029] 采用水热合成的方法，浓氨水为2ml，去离子水为14ml，2.8g/L羧甲基纤维素4ml，反应温度为130℃，反应时间为48h；制备出笔头状一维氧化锌/石墨烯复合气敏传感膜，所得一维氧化锌的直径范围为100-200nm之间。
[0030] 7、将负载复合气敏传感膜的传感元件在程序马弗炉中与450℃空气气氛热处理2h，控制升温速率小于1℃min，制得基于一维氧化锌/石墨烯复合气敏传感膜的气敏传感元件。
[0031] 实施例2
[0032] 本发明基于一维氧化锌/石墨烯纳米复合材料的气敏传感器元件的制备方法步骤如下：
[0033] 1、首先利用等离子清洗机对负载CVD石墨烯的气敏传感器件进行清洗，启动真空泵，抽完真空后，打开氧气的气路阀门，向清洗机中通入氧气，控制清洗机中压强达到60Pa-80Pa，启动清洗机，清洗时间2mins-5mins。
[0034] 2、将清洗过的负载CVD石墨烯的气敏传感元件置于磁控溅射设备的真空室，采用质量纯度为99.99%的金属锌作为靶材，以质量纯度为99.99%的氩气作为工作气体，在备用的气敏传感元件上溅射沉积金属锌薄膜；
[0035] 3、沉积金属锌薄膜的过程中，靶材与基台的距离为60mm，先将腔室抽真空至1×-4 -410 -5×10 Pa。之后通入Ar，移除表面的污染物。
[0036] 4、调节Ar流量使腔室压强为1.5Pa，通入气体后，对气敏传感元件进行加热，温度达到250℃，沉积功率为80W，预溅射10mins左右,再计时溅射30mins。
[0037] 5、溅射完成后，待系统温度冷却至室温，再向真空室充入氮气，达到正常气压时打开真空室取出负载金属锌/石墨烯气敏传感器件。
[0038] 6、一维氧化锌/石墨烯纳米复合气敏传感膜的制备：
[0039] 采用水热合成的方法，浓氨水为4ml，去离子水为12ml，2.8g/L羧甲基纤维素4ml，反应温度为120℃，反应时间为36h；制备出笔头状一维氧化锌/石墨烯复合气敏传感膜，所得一维氧化锌的直径范围为100-200nm之间。
[0040] 7、将负载复合气敏传感膜的传感元件在程序马弗炉中与450℃空气气氛热处理2h，控制升温速率小于1℃/min，制得基于一维氧化锌/石墨烯复合气敏传感膜的气敏传感元件。
[0041] 效果实施例1
[0042] 将本发明实施例1进行X射线衍射分析，如图1所示，反应制备所得一维ZnO传感材料的结晶度良好，晶粒尺寸为15nm左右。
[0043] 如图2、图3所示为实施例1制备得到的复合气敏传感膜的扫描电子显微镜图，从图中可以看出，复合气敏传感膜中一维氧化锌呈笔头状，笔头长度为10-100nm。该结构提升了传感材料的比表面积，并加快了载流子的传输速度，增强了传感材料的低温传感性能。
[0044] 对实施例1制备得到的气敏传感元件进行气敏性能测试（气敏特性通常用灵敏度来表征。灵敏度的定义为元件在大气气氛中的电阻值Ra与元件在一定浓度的被测气体气氛中的电阻值Rg与之比： ）：
[0045] 采用动态气敏测试方法，将气体检测腔体的体积控制在200cm3，调控丙酮气氛的浓度在10-100ppm之间，检测温度控制在60-120℃之间，采用Keithley 6570A采集气敏传感数据。如图4所示，为气敏元件对丙酮浓度10-100ppm之间的待测气体的室温传感灵敏度，随着丙酮浓度的提高，气敏元件的传感灵敏度也随着提升。对10ppm，50ppm，以及100ppm丙酮的灵敏度分别为3.4，9.2 以及15.8。
