[0017] 为详细阐述本发明的技术内容,所实现的目的及效果,下面结合具体实施方式进一步予以说明。
[0018] 实施例1:
[0019] 具有耐高温涂层的3D玻璃热弯模具,包括模具基体和附着在模具基体表面上的涂层,模具基体为石墨材料,所述涂层自模具基体表面起,第一层为SiC耐高温附着层,第二层为附着在SiC层上的无氢DLC层。
[0020] 上述模具基体表面上的涂层制备方法包括以下具体步骤:
[0021] (1)模具基体表面清洁:用酒精超声清洗30分钟,然后放入45℃的真空烤箱干燥1hr;
[0022] (2)模具基体等离子体清洗:将步骤(1)得到的模具基体放入真空镀膜设备工件夹具上,通入氩气30cssm,先后开启负偏压电源和阳极层离子源,偏压电压设定为100V,离子源功率设定为600W,模具基片在等离子体辉光中清洗30min;
[0023] (3)沉积耐高温附着层:步骤(2)完成后,关闭离子源电源,通入氩气200sccm、乙炔100sccm,开启Si靶源体上的中频磁控溅射电源,调整中频磁控溅射电源电流到15A,沉积
70min,后关闭溅射电源,停止气体通入,形成耐高温附着层;
[0024] (4)沉积无氢DLC层:
[0025] 调整偏压电压到1000V,开启阴极电弧源,调节电流到100A,沉积300min后关闭电弧源和偏压电源,无氢DLC层沉积结束;阴极电弧源的靶材为碳靶,阴极电弧使碳蒸发产生碳原子和碳离子,碳离子在磁场和基体负偏压的共同作用下,高速撞击到模具基体表面,沉积成无氢DLC层。
[0026] 上述模具上涂层的耐高温附着层为SiC薄膜,厚度0.5μm,硬度840HV;无氢DLC层厚度3.0μm,硬度3530HV,摩擦系数0.09;
[0027] 所使用到的设备有:酒精清洗槽、真空干燥箱、PIC镀膜机;PIC镀膜机主要包括真空抽气机系统,装载工件的可移出式转架系统、工艺气体供应系统、等离子体清洗部件、中频磁控溅射沉积部件、阴极电弧沉积部件;
[0028] 上述模具经测试性能如下:
[0029] (1)耐高温测试:在氮气保护条件下,950℃高温烘烤2hr;
[0030] 测试结果:涂层表面光洁,涂层颜色无明显改变,百格5B;
[0031] (2)摩擦磨损测试:5750橡皮测试机,000#钢丝棉,负重1000g,行程12.7mm;
[0032] 测试结果:摩擦10000 回合无划痕;
[0033] (3)使用寿命测试:3D玻璃热弯机,热弯模具室温度710℃,氮气保护氛围;
[0034] 测试结果:连续使用5000次,模具表面无碳化、无涂层脱落。
[0035] 实施例2
[0036] 具有耐高温涂层的3D玻璃热弯模具,包括模具基体和附着在模具基体表面上的涂层,模具基体为石墨材料,所述涂层自模具基体表面起,第一层为SiC耐高温附着层,第二层为附着在SiC层上的无氢DLC层。
[0037] 上述模具基体表面上的涂层制备方法包括以下具体步骤:
[0038] (1)模具基体表面清洁:用酒精超声清洗30分钟,然后放入45℃的真空烤箱干燥1hr;
[0039] (2)模具基体等离子体清洗:将步骤(1)得到的模具基体放入真空镀膜设备工件夹具上,通入氩气30cssm,先后开启负偏压电源和阳极层离子源,偏压电压设定为100V,离子源功率设定为600W,模具基片在等离子体辉光中清洗30min;
[0040] (3)沉积耐高温附着层:步骤(2)完成后,关闭离子源电源,通入氩气200sccm、乙炔100sccm,开启Si靶源体上的中频磁控溅射电源,调整中频磁控溅射电源电流到15A,沉积
280min后关闭溅射电源,停止气体通入,形成耐高温附着层;
[0041] (4)沉积无氢DLC层:
[0042] 开启阴极电弧源,调节电流到100A,沉积80min后关闭电弧源,无氢DLC层沉积结束;阴极电弧源的靶材为碳靶,阴极电弧使碳蒸发产生碳原子和碳离子,碳离子在磁场和基体负偏压的共同作用下,高速撞击到模具基体表面,沉积成无氢DLC层。
[0043] 上述模具上涂层的耐高温附着层为SiC薄膜,厚度2.0μm,硬度900HV;无氢DLC层厚度0.5μm,硬度5100HV,摩擦系数0.11;
[0044] 所使用到的设备有:酒精清洗槽、真空干燥箱、PIC镀膜机;PIC镀膜机主要包括真空抽气机系统,装载工件的可移出式转架系统、工艺气体供应系统、等离子体清洗部件、中频磁控溅射沉积部件、阴极电弧沉积部件;
[0045] 上述模具经测试性能如下:
[0046] (1)耐高温测试:在氮气保护条件下,950℃高温烘烤2hr;
[0047] 测试结果:涂层表面光洁,涂层颜色无明显改变,百格5B;
[0048] (2)摩擦磨损测试:5750橡皮测试机,000#钢丝棉,负重1000g,行程12.7mm;
[0049] 测试结果:摩擦10000 回合无划痕;
[0050] (3)使用寿命测试:3D玻璃热弯机,热弯模具室温度710℃,氮气保护氛围;
[0051] 测试结果:连续使用5000次,模具表面无碳化、无涂层脱落。
[0052] 实施例3:
[0053] 具有耐高温涂层的3D玻璃热弯模具,包括模具基体和附着在模具基体表面上的涂层,模具基体为石墨材料,所述涂层自模具基体表面起,第一层为SiC‑SiN‑SiC耐高温附着层,第二层为附着在SiC‑SiN‑SiC层上的无氢DLC层。
[0054] 上述基体表面上的涂层制备方法包括以下具体步骤:
[0055] (1)模具基体表面清洁:用酒精超声清洗30分钟,然后放入45℃的真空烤箱干燥1hr;
[0056] (2)模具基体等离子体清洗:将步骤(1)得到的模具基体放入真空镀膜设备工件夹具上,通入氩气30cssm,先后开启负偏压电源和阳极层离子源,偏压电压设定为100V,离子源功率设定为600W,模具基片在等离子体辉光中清洗30min;
[0057] (3)沉积耐高温附着层:步骤(2)完成后,关闭离子源电源,通入氩气200sccm、乙炔100sccm,开启Si靶源体上的中频磁控溅射电源,调整中频磁控溅射电源电流到15A,沉积
100min,然后通入氮气80sccm,停止通入乙炔,沉积80min,再接着通入乙炔100sccm,停止通入氮气,沉积60min后关闭溅射电源,停止气体通入,形成耐高温附着层;;
[0058] (4)沉积无氢DLC层:
[0059] 开启阴极电弧源,调节电流到100A,沉积50min后关闭电弧源,无氢DLC层沉积结束;阴极电弧源的靶材为碳靶,阴极电弧使碳蒸发产生碳原子和碳离子,碳离子在磁场和基体负偏压的共同作用下,高速撞击到模具基体表面,沉积成无氢DLC层。
[0060] 上述模具上涂层的耐高温附着层为SiC‑SiN‑SiC薄膜,厚度5.0μm,硬度1000HV;无氢DLC层厚度0.3μm,硬度5100HV,摩擦系数0.12;
[0061] 所使用到的设备有:酒精清洗槽、真空干燥箱、PIC镀膜机;PIC镀膜机主要包括真空抽气机系统,装载工件的可移出式转架系统、工艺气体供应系统、等离子体清洗部件、中频磁控溅射沉积部件、阴极电弧沉积部件;
[0062] 上述模具经测试性能如下:
[0063] (1)耐高温测试:在氮气保护条件下,950℃高温烘烤2hr;
[0064] 测试结果:涂层表面光洁,涂层颜色无明显改变,百格5B;
[0065] (2)摩擦磨损测试:5750橡皮测试机,000#钢丝棉,负重1000g,行程12.7mm;
[0066] 测试结果:摩擦10000 回合无划痕;
[0067] (3)使用寿命测试:3D玻璃热弯机,热弯模具室温度710℃,氮气保护氛围;
[0068] 测试结果:连续使用5000次,模具表面无碳化、无涂层脱落。
[0069] 实施例4:
[0070] 具有耐高温涂层的3D玻璃热弯模具,包括模具基体和附着在模具基体表面上的涂层,模具基体为碳化硅材料,所述涂层自模具基体表面起,第一层为SiAlC耐高温附着层,第二层为附着在SiAlC层上的无氢DLC层。
[0071] 上述基体表面上的涂层制备方法包括以下具体步骤:
[0072] (1)模具基体表面清洁:用酒精超声清洗30分钟,然后放入45℃的真空烤箱干燥1hr;
[0073] (2)模具基体等离子体清洗:将步骤(1)得到的模具基体放入真空镀膜设备工件夹具上,通入氩气30cssm,先后开启负偏压电源和阳极层离子源,偏压电压设定为100V,离子源功率设定为600W,模具基片在等离子体辉光中清洗30min;
[0074] (3)沉积耐高温附着层:步骤(2)完成后,关闭离子源电源,通入氩气200sccm、乙炔110sccm,开启SiAl靶源体上的中频磁控溅射电源,调整中频磁控溅射电源电流到15A,沉积
270min后关闭溅射电源,停止气体通入,形成耐高温附着层;
[0075] (4)沉积无氢DLC层:
[0076] 开启阴极电弧源,调节电流到100A,沉积80min后关闭电弧源,无氢DLC层沉积结束;阴极电弧源的靶材为碳靶,阴极电弧使碳蒸发产生碳原子和碳离子,碳离子在磁场和基体负偏压的共同作用下,高速撞击到模具基体表面,沉积成无氢DLC层。
[0077] 上述模具上涂层的耐高温附着层为SiAlC薄膜,厚度2.0μm,硬度940HV;无氢DLC层厚度0.5μm,硬度5100HV,摩擦系数0.10;
[0078] 所使用到的设备有:酒精清洗槽、真空干燥箱、PIC镀膜机;PIC镀膜机主要包括真空抽气机系统,装载工件的可移出式转架系统、工艺气体供应系统、等离子体清洗部件、中频磁控溅射沉积部件、阴极电弧沉积部件;
[0079] 上述模具经测试性能如下:
[0080] (1)耐高温测试:在氮气保护条件下,950℃高温烘烤2hr;
[0081] 测试结果:涂层表面光洁,涂层颜色无明显改变,百格5B;
[0082] (2)摩擦磨损测试:5750橡皮测试机,000#钢丝棉,负重1000g,行程12.7mm;
[0083] 测试结果:摩擦10000 回合无划痕;
[0084] (3)使用寿命测试:3D玻璃热弯机,热弯模具室温度710℃,氮气保护氛围;
[0085] 测试结果:连续使用5000次,模具表面无碳化、无涂层脱落。
[0086] 实施例5:
[0087] 具有耐高温涂层的3D玻璃热弯模具,包括模具基体和附着在模具基体表面上的涂层,模具基体为石墨材料,所述涂层自模具基体表面起,第一层为SiC耐高温附着层,第二层为附着在SiC层上的无氢DLC层。
[0088] 上述基体表面上的涂层制备方法包括以下具体步骤:
[0089] (1)模具基体表面清洁:用酒精超声清洗30分钟,然后放入45℃的真空烤箱干燥1hr;
[0090] (2)模具基体等离子体清洗:将步骤(1)得到的模具基体放入真空镀膜设备工件夹具上,通入氩气30cssm,先后开启负偏压电源和阳极层离子源,偏压电压设定为100V,离子源功率设定为600W,模具基片在等离子体辉光中清洗30min;
[0091] (3)沉积耐高温附着层:步骤(2)完成后,关闭离子源电源,通入氩气200sccm、乙炔100sccm,开启Si靶源体上的中频磁控溅射电源,调整中频磁控溅射电源电流到15A,沉积
280min后关闭溅射电源,停止气体通入,形成耐高温附着层;
[0092] (4)沉积无氢DLC层:
[0093] 调整偏压电压到100V,开启脉冲激光电源,使激光聚焦到碳靶上,沉积20min后结束沉积,无氢DLC层制备完成;脉冲激光沉积原理是:在激光的高能量密度的作用下使碳靶蒸发产生碳原子和碳离子,碳离子在磁场和基体负偏压的共同作用下,高速射向模具基体表面附着沉积,形成DLC薄膜;
[0094] 上述模具上涂层的耐高温附着层为SiC薄膜,厚度2.0μm,硬度1000HV;无氢DLC层厚度0.3μm,硬度5800HV,摩擦系数0.13;
[0095] 所使用到的设备有:酒精清洗槽、真空干燥箱、PID镀膜机;PID镀膜机主要包括真空抽气机系统,装载工件的可移出式转架系统、工艺气体供应系统、等离子体清洗部件、中频磁控溅射沉积部件、脉冲激光沉积部件;
[0096] 上述模具经测试性能如下:
[0097] (1)耐高温测试:在氮气保护条件下,950℃高温烘烤2hr;
[0098] 测试结果:涂层表面光洁,涂层颜色无明显改变,百格5B;
[0099] (2)摩擦磨损测试:5750橡皮测试机,000#钢丝棉,负重1000g,行程12.7mm;
[0100] 测试结果:摩擦10000 回合无划痕;
[0101] (3)使用寿命测试:3D玻璃热弯机,热弯模具室温度710℃,氮气保护;
[0102] 测试结果:连续使用5000次,模具表面无碳化、无涂层脱落。
[0103] 实施例6:
[0104] 具有耐高温涂层的3D玻璃热弯模具,包括模具基体和附着在模具基体表面上的涂层,模具基体为石墨材料,所述涂层自模具基体表面起,第一层为SiAlC耐高温附着层,第二层为附着在SiAlC层上的无氢DLC层。
[0105] 上述基体表面上的涂层制备方法包括以下具体步骤:
[0106] (1)模具基体表面清洁:用酒精超声清洗30分钟,然后放入45℃的真空烤箱干燥1hr;
[0107] (2)模具基体等离子体清洗:将步骤(1)得到的模具基体放入真空镀膜设备工件夹具上,通入氩气30cssm,先后开启负偏压电源和阳极层离子源,偏压电压设定为100V,离子源功率设定为600W,模具基片在等离子体辉光中清洗30min;
[0108] (3)沉积耐高温附着层:步骤(2)完成后,关闭离子源电源,通入氩气200sccm、乙炔100sccm,开启SiAl靶源体上的中频磁控溅射电源,调整中频磁控溅射电源电流到15A,沉积
280min后关闭溅射电源,停止气体通入,形成耐高温附着层;
[0109] (4)沉积无氢DLC层:
[0110] 调整偏压电压到100V,开启脉冲激光电源,使激光聚焦到碳靶上,沉积20min后结束沉积,无氢DLC层制备完成;脉冲激光沉积原理是:在激光的高能量密度的作用下使碳靶蒸发产生碳原子和碳离子,碳离子在磁场和基体负偏压的共同作用下,高速射向模具基体表面附着沉积,形成DLC薄膜;
[0111] 上述模具上涂层的耐高温附着层为SiAlC薄膜,厚度2.0μm,硬度1100HV;无氢DLC层厚度0.3μm,硬度5765HV,摩擦系数0.11;
[0112] 所使用到的设备有:酒精清洗槽、真空干燥箱、PID镀膜机;PID镀膜机主要包括真空抽气机系统,装载工件的可移出式转架系统、工艺气体供应系统、等离子体清洗部件、中频磁控溅射沉积部件、脉冲激光沉积部件;
[0113] 上述模具经测试性能如下:
[0114] (1)耐高温测试:在氮气保护条件下,950℃高温烘烤2hr;
[0115] 测试结果:涂层表面光洁,涂层颜色无明显改变,百格5B;
[0116] (2)摩擦磨损测试:5750橡皮测试机,000#钢丝棉,负重1000g,行程12.7mm;
[0117] 测试结果:摩擦10000 回合无划痕;
[0118] (3)使用寿命测试:3D玻璃热弯机,热弯模具室温度710℃,氮气保护;
[0119] 测试结果:连续使用5000次,模具表面无碳化、无涂层脱落。