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多层膜填充型复合介质纳米周期光栅结构及其制备方法
多层膜填充型复合介质纳米周期光栅结构及其制备方法
发明专利
有效专利
一种基于纳米压印技术制作光学高性能反射元件﹑高透射超窄带滤波器的一维光子晶体多层膜填充型复合介质光栅结构。
申请日:
2013-11-08
当前状态:
授权
国际分类号:
G02B5/18
、
G03F7/00
发明人:
黄婧睿,袁长胜,葛海雄,陈延峰
申请人:
无锡英普林纳米科技有限公司
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