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一种UV解粘抗酸保护膜 0 0

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申请进展

基本信息

申请人信息

代理人信息

摘要

法律状态

权利要求

说明书

专利申请流程有哪些步骤？

申请

申请号：指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。

申请日：提出专利申请之日。

2018-06-01

申请公布

申请公布指发明专利申请经初步审查合格后，自申请日（或优先权日）起18个月期满时的公布或根据申请人的请求提前进行的公布。

申请公布号：专利申请过程中，在尚未取得专利授权之前，国家专利局《专利公报》公开专利时的编号。

申请公布日：申请公开的日期，即在专利公报上予以公开的日期。

2018-11-13

授权

授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由，授予发明专利权；或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由，授予实用新型专利权或外观设计专利权。

预估到期

发明专利权的期限为二十年，实用新型专利权期限为十年，外观设计专利权期限为十五年，均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。

2038-06-01

基本信息

有效性	实质审查	专利类型	发明专利
申请号	CN201810553133.X	申请日	2018-06-01
公开/公告号	CN108676512A	公开/公告日	2018-10-19
授权日		预估到期日	2038-06-01
申请年	2018年	公开/公告年	2018年
缴费截止日
分类号	C09J7/25 、C09J7/30 、C08L67/04 、C09J175/04 、C09J11/04 、C09J11/08 、C09J11/06	主分类号	C09J7/25
是否联合申请	独立申请	文献类型号	A
独权数量	1	从权数量	5
权利要求数量	6	非专利引证数量	1
引用专利数量	8	被引证专利数量	1
非专利引证	1、孙晓芳等: "“有机硅改性聚丙烯酸酯乳液的研究”", 《印染助剂》;
引用专利	CN1611305A、CN102676033A、CN103625061A、CN103923572A、CN104910599A、CN105667031A、CN105778806A、JP2017048266A	被引证专利	CN201910135746.6
专利权维持	99	专利申请国编码	CN
专利事件		事务标签	实质审查

申请人信息

申请人	马江嫚	第一申请人	马江嫚
专利权人	马江嫚	当前专利权人	马江嫚
发明人	不公告发明人	第一发明人	不公告发明人
地址	江苏省徐州市北沟镇凤凰嘉园小区8号1单元1002室	邮编	221416
申请人数量	1	发明人数量	1
申请人所在省	江苏省	申请人所在市	江苏省徐州市

代理人信息

代理机构

专利代理机构是经省专利管理局审核，国家知识产权局批准设立，可以接受委托人的委托，在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。

代理人

专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务，取得一定资格的人。

摘要

本发明提供一种UV解粘抗酸保护膜，由水性聚氨酯、丙烯酸树脂、玻璃微珠、紫外固化剂、增粘剂组成的胶液涂布于PLA/PHA/PLA共挤薄膜上得到。该保护膜环保性好、耐氢氟酸腐蚀、具有较好的初始粘度和稳定性，经UV照射后解粘速度快、容易剥离。

摘要附图
说明书附图：[0030]
说明书附图：[0031]

法律状态

序号	法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
1	2018-11-13	实质审查的生效	IPC(主分类): C09J 7/25 专利申请号: 201810553133.X 申请日: 2018.06.01

权利要求

权利要求书是申请文件最核心的部分，是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。

1.一种UV解粘抗酸保护膜，包括可降解基膜和粘结层，其特征在于，基膜为PLA/PHA/PLA共挤薄膜，粘结层包括以下组分，按重量份计：
水性聚氨酯                                   68-95份
丙烯酸树脂                                   2-15份
玻璃微珠                                     1-10份
紫外固化剂                                   0.1-0.2份
增粘剂                                       1.9-6.8份。

2.根据权利要求1所述的UV解粘抗酸保护膜，其特征在于，所述PHA为3-羟基丙酸和5羟基戊酸共聚物，熔融指数为9-10g/10min。

3.根据权利要求1所述的UV解粘抗酸保护膜，其特征在于，所述的水性聚氨酯为由聚己二酸丁二醇酯与异佛尔酮二异氰酸酯经聚合反应制得聚氨酯预聚物加水分散后的得到的水性聚氨酯分散体，固含量为30%。

4.根据权利要求1所述的UV解粘抗酸保护膜，其特征在于，所述玻璃微珠粒径为1-3微米。

5.根据权利要求1所述的UV解粘抗酸保护膜，其特征在于，所述紫外固化剂为2-异丙基硫杂蒽酮、4-二甲胺基-苯甲酸乙酯中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的UV解粘抗酸保护膜，其特征在于，所述增粘剂为羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素钠和羟乙基纤维素的任意一种。

说明书

技术领域

[0001] 本发明涉及一种功能性薄膜，更具体地，一种应用于大规模集成电路及半导体加工的UV解粘抗酸保护膜。

背景技术

[0002] 在大规模集成电路的制造和半导体器件的制造加工过程中，必不可少的基础材料是半导体芯片，半导体芯片是以单晶硅片加工而成的。单晶硅片简称晶圆。在对晶圆材料进行切割、磨削加工时，需要用一种特殊的保护膜进行粘结固定，确保芯片边沿整齐，无多角、崩边、裂纹，表面无划伤、无残留晶渣及脏物污染。加工完毕后，需要把加工好的晶圆切片从保护膜上能轻易的完全剥离下来，不影响晶圆材料本身。这种使用时具有高粘结强度而通过紫外光照后又可以迅速彻底的失去粘性的保护膜称之为UV解粘保护膜。

[0003] 然而由于较多情况下，半导体加工存在酸性环境，目前的UV解粘保护膜容易发生变性，难以有效保护半导体免于酸液的侵蚀，造成产品报废率较高，且解粘速度仍然限制了生产效率的提高。

发明内容

[0004] 为了克服上述技术中的缺陷，本发明提供一种UV解粘抗酸保护膜。该保护膜环保性好、耐氢氟酸腐蚀、具有较好的初始粘度和稳定性，经UV照射后解粘速度快、容易剥离。

[0005] 为了达到此目的，本发明采用以下技术方案：一种UV解粘抗酸保护膜，包括可降解基膜和粘结层，所述的粘结层包括以下组分，按重量份计：
水性聚氨酯                                   68-95份
丙烯酸树脂                                   2-15份
玻璃微珠                                     1-10份
紫外固化剂                                   0.1-0.2份
增粘剂                                       1.9-6.8份
所述的水性聚氨酯为由聚己二酸丁二醇酯与异佛尔酮二异氰酸酯经聚合反应制得聚氨酯预聚物加水分散后的得到的水性聚氨酯分散体，固含量为30%。

[0006] 所述的丙烯酸树脂为有机硅同甲基丙烯酸甲酯嵌段共聚得到的丙烯酸树脂，其中有机硅为乙烯基硅氧烷。

[0007] 所述的玻璃微珠粒径为1-3微米。

[0008] 所述紫外固化剂为2-异丙基硫杂蒽酮、4-二甲胺基-苯甲酸乙酯中的至少一种。

[0009] 所述的增粘剂为羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素钠和羟乙基纤维素的任意一种。

[0010] 所述基膜为PLA/PHA/PLA共挤薄膜，其中PHA为3-羟基丙酸和5羟基戊酸共聚物,熔融指数为9-10g/10min。

[0011] 有益效果：1、采用水性聚氨酯树脂能够改善生产使用过程中的环境。

[0012] 2、采用乙烯基硅氧烷同甲基丙烯酸甲酯嵌段共聚得到的丙烯酸树脂能够提高粘结层在使用过程中的疏水性，减少氢氟酸对半导体的腐蚀，同时紫外光照射时收缩较快，减少解粘时间。

[0013] 3、添加玻璃微珠可以减少胶黏剂的使用量，且玻璃微珠在涂布的过程中会逐渐沉降，聚集在粘结层底部，当紫外光照射进行固化时，光线透过玻璃微珠照射在粘结层与半导体的结合面，解粘效率更高，减少了紫外光强度上的损失。

[0014] 4、采用3-羟基丙酸和5羟基戊酸共聚物为中间层的PLA/PHA/PLA共挤薄膜作为基膜可以使基膜具有阻隔性、环保、表面润湿性好的优点，有利于涂布液铺展，并且能够增强紫外光的强度，加速解粘，提高效率。

实施方案

[0015]为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

[0016] 本发明下述实施例中所使用的可降解基膜来自于天津国韵生物科技有限公司，厚度为100微米。

[0017] 本发明下述实施例中所使用的水性聚氨酯来自于烟台万华公司Adwel® 1650。

[0018] 本发明下述实施例中所使用的丙烯酸树脂来自于烟台万华公司Crysol®6318本发明下述实施例中所使用的玻璃微珠来自旭阳玻璃制品有限公司。

[0019] 本发明下述实施例中所使用的紫外光固化剂来自上海孚一生物科技有限公司。

[0020] 本发明下述实施例中所使用的增粘剂来自北京凯天创新科技发展有限公司。

[0021] 实施例1按照下文所述质量份数比称取各种原料
水性聚氨酯                                         68份
丙烯酸树脂                                         15份
玻璃微珠                                           10份
2-异丙基硫杂蒽酮                                   0.2份
羟丙基甲基纤维素                                   6.8份
混合均匀后涂布于PLA/PHA/PLA共挤薄膜上，得到UV解粘抗酸保护膜。

[0022] 实施例2按照下文所述质量份数比称取各种原料
水性聚氨酯                                         95份
丙烯酸树脂                                         2份
玻璃微珠                                           1份
2-异丙基硫杂蒽酮                                   0.1份
羟丙基甲基纤维素                                   1.9份
混合均匀后涂布于PLA/PHA/PLA共挤薄膜上，得到UV解粘抗酸保护膜。

[0023] 实施例3按照下文所述质量份数比称取各种原料
水性聚氨酯                                       90份
丙烯酸树脂                                       4.9份
玻璃微珠                                         3份
2-异丙基硫杂蒽酮                                 0.15份
羟丙基甲基纤维素                                 1.95份
混合均匀后涂布于PLA/PHA/PLA共挤薄膜上，得到UV解粘抗酸保护膜。

[0024] 实施例4按照下文所述质量份数比称取各种原料
水性聚氨酯                                      97份
玻璃微珠                                        1份
2-异丙基硫杂蒽酮                                0.1份
羟丙基甲基纤维素                                1.9份
混合均匀后涂布于PLA/PHA/PLA共挤薄膜上，得到UV解粘抗酸保护膜。

[0025] 实施例5按照下文所述质量份数比称取各种原料
水性聚氨酯                                      95份
丙烯酸树脂                                      3份
2-异丙基硫杂蒽酮                                0.1份
羟丙基甲基纤维素                                1.9份
混合均匀后涂布于PLA/PHA/PLA共挤薄膜上，得到UV解粘抗酸保护膜。

[0026] 实施例6按照下文所述质量份数比称取各种原料
水性聚氨酯                                   68份
丙烯酸树脂                                   15份
2-异丙基硫杂蒽酮                             10份
紫外固化剂                                   0.2份
羟丙基甲基纤维素                             6.8份
混合均匀后涂布于PET薄膜上，得到UV解粘抗酸保护膜。

[0027] 对比例按授权公告号为CN103923572B的专利实施。

[0028] 实施例材料性能测试结果。

[0029] 表1。

[0030] 表2。

[0031] 表3紫外光强度测试（365nm波长，入射光源为7瓦紫光灯）入射强度(mw/cm2) 出射强度(mw/cm2)
PET膜 16 15
PLA/PHA/PLA膜 16 23
注：（1）初粘力的测试采用滚球斜坡停止实验法，采用标准为GB/T4852。

[0032] （2）持粘力采用标准GB/T4851。

[0033] （3）剥离强度采用标准GB/T2792。

[0034] （4）表1为采用1000瓦高压汞灯距离15cm照射20秒后测试结果。

[0035] （5）表2为氢氟酸溶液浸泡后，采用不同功率高压汞灯距离15cm照射，剥离强度达到1N/25cm以下需要的时间。

[0036] （3）表3为同一光源通过两种基膜后的光强度。

[0037] 由表1可以看出，实施例1-3在非酸性环境下，初粘力、粘持力、光照前后的剥离强度略高于对比例。

[0038] 由表2可以看出，在酸性环境下，对比例不耐腐蚀，本发明中的丙烯酸树脂可以提高保护膜抗酸性，通过实施例1、4可以看出，丙烯酸树脂可以提高解粘速度；且；通过实施例1、5可以看出添加玻璃微珠可以提高解粘速度；通过不同光照强度下解粘时间对比，采用PET为基膜的保护膜1000瓦光照下解粘速度慢于以PLA/PHA/PLA为基膜的保护膜500瓦光照下解粘速度，结合表3说明PLA/PHA/PLA基膜对紫外光强度有加强作用，可以促进解粘。

[0039] 由此可以得出本发明环保性好、耐氢氟酸腐蚀、具有较好的初始粘度和稳定性，经UV照射后解粘速度快、容易剥离。以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围内。本发明要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

1一种UV解粘抗酸保护膜