首页 > 专利 > 杨震民 > 一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备专利详情

一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备   0    0

有效专利 查看PDF
专利申请流程有哪些步骤?
专利申请流程图
申请
申请号:指国家知识产权局受理一件专利申请时给予该专利申请的一个标示号码。唯一性原则。
申请日:提出专利申请之日。
2021-08-17
授权
授权指对发明专利申请经实质审查没有发现驳回理由,授予发明专利权;或对实用新型或外观设计专利申请经初步审查没有发现驳回理由,授予实用新型专利权或外观设计专利权。
2022-04-15
预估到期
发明专利权的期限为二十年,实用新型专利权期限为十年,外观设计专利权期限为十五年,均自申请日起计算。专利届满后法律终止保护。
2031-08-17
基本信息
有效性 有效专利 专利类型 实用新型
申请号 CN202121920742.8 申请日 2021-08-17
公开/公告号 CN216311746U 公开/公告日 2022-04-15
授权日 2022-04-15 预估到期日 2031-08-17
申请年 2021年 公开/公告年 2022年
缴费截止日 2022-09-19
分类号 H01L21/683 主分类号 H01L21/683
是否联合申请 独立申请 文献类型号 U
独权数量 1 从权数量 6
权利要求数量 7 非专利引证数量 0
引用专利数量 0 被引证专利数量 0
非专利引证
引用专利 被引证专利
专利权维持 1 专利申请国编码 CN
专利事件 事务标签 授权
申请人信息
申请人 第一申请人
专利权人 杨震民 当前专利权人 杨震民
发明人 杨震民 第一发明人 杨震民
地址 天津市河东区太平镇驻地 邮编 300000
申请人数量 1 发明人数量 1
申请人所在省 天津市 申请人所在市 天津市河东区
代理人信息
代理机构
专利代理机构是经省专利管理局审核,国家知识产权局批准设立,可以接受委托人的委托,在委托权限范围内以委托人的名义办理专利申请或其他专利事务的服务机构。
代理人
专利代理师是代理他人进行专利申请和办理其他专利事务,取得一定资格的人。
摘要
本实用新型公开了一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,包括壳体,所述壳体的顶部靠近左侧处设有螺纹杆,所述壳体的顶部设有顶板,所述壳体的顶部靠近左侧处与顶板的底部靠近左侧处均固定连接有第一轴承,所述螺纹杆的底端插接在相邻第一轴承的内腔,通过螺纹杆、螺纹套、顶板、电机外壳、连接杆、限位管、限位杆、静电消除器、导线、接地线等部件之间的相互配合,使装置可以与硅晶片充分接触,具有静电消除效果好等特点,通过推板、定位板、往复凸轮、转轴、驱动电机、滑块、限位套、固定杆、连接块、伺服电机、固定板等部件之间的相互配合,使装置自动进行上料操作,具有提高工作效率等特点。
  • 摘要附图
    一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备
  • 说明书附图:图1
    一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备
  • 说明书附图:图2
    一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备
  • 说明书附图:图3
    一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备
  • 说明书附图:图4
    一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备
法律状态
序号 法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
1 2022-04-15 授权
权利要求
权利要求书是申请文件最核心的部分,是申请人向国家申请保护他的发明创造及划定保护范围的文件。
1.一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,包括壳体(1),其特征在于:所述壳体(1)的顶部靠近左侧处设有螺纹杆(2),所述壳体(1)的顶部设有顶板(4),所述壳体(1)的顶部靠近左侧处与顶板(4)的底部靠近左侧处均固定连接有第一轴承,所述螺纹杆(2)的底端插接在相邻第一轴承的内腔,所述螺纹杆(2)的顶端贯穿相邻第一轴承的内腔,且延伸至顶部,所述顶板(4)的底部靠近右侧处设有限位机构(26),所述顶板(4)的底部设有静电消除器(9),所述静电消除器(9)的左右两侧均固定连接有连接杆(6),位于左侧的所述连接杆(6)的左端与螺纹套(3)的右侧固定连接,所述壳体(1)的内腔靠近中间处固定连接有固定板(25),所述固定板(25)的后侧设有往复凸轮(17),所述往复凸轮(17)的前后两端均固定连接有转轴(18),所述壳体(1)的内腔后侧与固定板(25)上均固定连接有第二轴承,位于后侧的所述转轴(18)的后端插接在相邻第二轴承的内腔,位于前侧的所述转轴(18)的前端贯穿相邻第二轴承的内腔,且延伸至其前侧,所述往复凸轮(17)上开设有滑槽,所述滑槽的内腔设有滑块(20),所述滑块(20)的顶部贯穿滑槽的内腔,且延伸至其顶部,并固定连接有限位套(21),所述限位套(21)的顶部固定连接有连接块(23),所述壳体(1)的顶部靠近右侧处开设有开槽,所述连接块(23)的顶部贯穿相邻开槽的内腔,且延伸至其顶部,并固定连接有推板(15),所述推板(15)的左侧固定连接有定位板(16)。

2.如权利要求1所述的一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,其特征在于:所述限位机构(26)包括限位杆(8),所述限位杆(8)的顶端与顶板(4)的底部固定连接,所述限位杆(8)的底端与壳体(1)的顶部固定连接,所述限位杆(8)的外壁套设有限位管(7),所述限位管(7)的左侧与相邻的连接杆(6)的右端固定连接。

3.如权利要求1所述的一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,其特征在于:所述顶板(4)的顶部靠近左侧处固定连接有电机外壳(5),所述电机外壳(5)的内腔顶部固定连接有伺服电机(24),所述伺服电机(24)的电机轴与螺纹杆(2)的顶端固定连接。

4.如权利要求1所述的一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,其特征在于:所述静电消除器(9)的右侧固定连接有导线(10),所述导线(10)的右端固定连接有接地线(11)。

5.如权利要求1所述的一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,其特征在于:所述固定板(25)的前侧设有驱动电机(19),所述驱动电机(19)的底部与壳体(1)的内腔底部固定连接,所述驱动电机(19)的电机轴与相邻转轴(18)的前端固定连接。

6.如权利要求1所述的一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,其特征在于:所述限位套(21)的内腔设有固定杆(22),所述固定杆(22)的前后两端均贯穿限位套(21)的内腔,并分别与壳体(1)的内腔侧壁和固定板(25)固定连接。

7.如权利要求1所述的一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,其特征在于:所述壳体(1)的顶部靠近前侧处设有基座(12),所述基座(12)的顶部固定连接陶瓷片(13),所述陶瓷片(13)的顶部设有硅晶片(14)。
说明书

技术领域

[0001] 本实用新型涉及半导体加工技术领域,尤其涉及一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备。

背景技术

[0002] 半导体是指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。完成半导体加工硅晶片的工序后,就需要消除静电吸附作用,以便方便地取出硅晶片,因为当硅晶片移开陶瓷圆片正上面之前一步,必须将硅晶片由辅助机构顶离陶瓷圆片,这样工作人员才能插入硅晶片的底部而将硅晶片移至下一个工序,那就需要消除硅晶片与陶瓷圆片之间的静电吸附作用,不然硅晶片将被顶破。
[0003] 现有的装置在进行静电消除时,无法与硅晶片充分接触,静电消除效果差,而且现有的装置是通过人工进行上料操作,工作效率较低。实用新型内容
[0004] 为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的之一在于提供一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备。
[0005] 本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现:
[0006] 一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,包括壳体,所述壳体的顶部靠近左侧处设有螺纹杆,所述壳体的顶部设有顶板,所述壳体的顶部靠近左侧处与顶板的底部靠近左侧处均固定连接有第一轴承,所述螺纹杆的底端插接在相邻第一轴承的内腔,所述螺纹杆的顶端贯穿相邻第一轴承的内腔,且延伸至顶部,所述顶板的底部靠近右侧处设有限位机构,所述顶板的底部设有静电消除器,所述静电消除器的左右两侧均固定连接有连接杆,位于左侧的所述连接杆的左端与螺纹套的右侧固定连接,所述壳体的内腔靠近中间处固定连接有固定板,所述固定板的后侧设有往复凸轮,所述往复凸轮的前后两端均固定连接有转轴,所述壳体的内腔后侧与固定板上均固定连接有第二轴承,位于后侧的所述转轴的后端插接在相邻第二轴承的内腔,位于前侧的所述转轴的前端贯穿相邻第二轴承的内腔,且延伸至其前侧,所述往复凸轮上开设有滑槽,所述滑槽的内腔设有滑块,所述滑块的顶部贯穿滑槽的内腔,且延伸至其顶部,并固定连接有限位套,所述所述限位套的顶部固定连接有连接块,所述壳体的顶部靠近右侧处开设有开槽,所述连接块的顶部贯穿相邻开槽的内腔,且延伸至其顶部,并固定连接有推板,所述推板的左侧固定连接有定位板。
[0007] 进一步的,所述限位机构包括限位杆,所述限位杆的顶端与顶板的底部固定连接,所述限位杆的底端与壳体的顶部固定连接,所述限位杆的外壁套设有限位管,所述限位管的左侧与相邻的连接杆的右端固定连接。
[0008] 进一步的,所述顶板的顶部靠近左侧处固定连接有电机外壳,所述电机外壳的内腔顶部固定连接有伺服电机,所述伺服电机的电机轴与螺纹杆的顶端固定连接。
[0009] 进一步的,所述静电消除器的右侧固定连接有导线,所述导线的右端固定连接有接地线。
[0010] 进一步的,所述固定板的前侧设有驱动电机,所述驱动电机的底部与壳体的内腔底部固定连接,所述驱动电机的电机轴与相邻转轴的前端固定连接。
[0011] 进一步的,所述限位套的内腔设有固定杆,所述固定杆的前后两端均贯穿限位套的内腔,并分别与壳体的内腔侧壁和固定板固定连接。
[0012] 进一步的,所述壳体的顶部靠近前侧处设有基座,所述基座的顶部固定连接陶瓷片,所述陶瓷片的顶部设有硅晶片。
[0013] 相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:
[0014] 1、本实用新型通过螺纹杆、螺纹套、顶板、电机外壳、连接杆、限位管、限位杆、静电消除器、导线、接地线等部件之间的相互配合,使装置可以与硅晶片充分接触,具有静电消除效果好等特点;
[0015] 2、本实用新型通过推板、定位板、往复凸轮、转轴、驱动电机、滑块、限位套、固定杆、连接块、伺服电机、固定板等部件之间的相互配合,使装置自动进行上料操作,具有提高工作效率等特点。
[0016] 上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。

实施方案

[0022] 下面,结合附图以及具体实施方式,对本实用新型做进一步描述,需要说明的是,在不相冲突的前提下,以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
[0023] 需要说明的是,当组件被称为“固定于”另一个组件,它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件,它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件,它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0024] 除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0025] 请参阅图1至图4,一种半导体加工硅晶片消除静电吸附设备,包括壳体1,壳体1的顶部靠近左侧处设有螺纹杆2,壳体1的顶部设有顶板4,壳体1的顶部靠近左侧处与顶板4的底部靠近左侧处均固定连接有第一轴承,螺纹杆2的底端插接在相邻第一轴承的内腔,螺纹杆2的顶端贯穿相邻第一轴承的内腔,且延伸至顶部,顶板4的底部靠近右侧处设有限位机构26,顶板4的底部设有静电消除器9,静电消除器9的左右两侧均固定连接有连接杆6,位于左侧的连接杆6的左端与螺纹套3的右侧固定连接,壳体1的内腔靠近中间处固定连接有固定板25,固定板25的后侧设有往复凸轮17,往复凸轮17的前后两端均固定连接有转轴18,壳体1的内腔后侧与固定板25上均固定连接有第二轴承,位于后侧的转轴18的后端插接在相邻第二轴承的内腔,位于前侧的转轴18的前端贯穿相邻第二轴承的内腔,且延伸至其前侧,往复凸轮17上开设有滑槽,滑槽的内腔设有滑块20,滑块20的顶部贯穿滑槽的内腔,且延伸至其顶部,并固定连接有限位套21,限位套21的顶部固定连接有连接块23,壳体1的顶部靠近右侧处开设有开槽,连接块23的顶部贯穿相邻开槽的内腔,且延伸至其顶部,并固定连接有推板15,推板15的左侧固定连接有定位板16,壳体1的顶部靠近前侧处设有基座12,基座12的顶部固定连接陶瓷片13,陶瓷片13的顶部设有硅晶片14,便于消除静电;
[0026] 限位机构26包括限位杆8,限位杆8的顶端与顶板4的底部固定连接,限位杆8的底端与壳体1的顶部固定连接,限位杆8的外壁套设有限位管7,限位管7的左侧与相邻的连接杆6的右端固定连接,静电消除效果好,静电消除器9的右侧固定连接有导线10,导线10的右端固定连接有接地线11,静电消除效果好;
[0027] 顶板4的顶部靠近左侧处固定连接有电机外壳5,电机外壳5的内腔顶部固定连接有伺服电机24,伺服电机24的电机轴与螺纹杆2的顶端固定连接,自动上料,提高工作效率;
[0028] 固定板25的前侧设有驱动电机19,驱动电机19的底部与壳体1的内腔底部固定连接,驱动电机19的电机轴与相邻转轴18的前端固定连接,自动上料,提高工作效率;限位套21的内腔设有固定杆22,固定杆22的前后两端均贯穿限位套21的内腔,并分别与壳体1的内腔侧壁和固定板25固定连接,自动上料,提高工作效率。
[0029] 工作原理:本实用新型在使用时,首先通过外置电源连接驱动电机19和伺服电机24,然后将刚加工完的硅晶片14连同基座12放置在推板15前侧,定位板16对其进行定位,然后启动驱动电机19,驱动电机19通过电机轴带动相邻的转轴18转动,转轴18带动往复凸轮
17转动,往复凸轮17通过滑槽带动滑块20前后移动,滑块20带动限位套21前后移动,固定杆
22对其进行限位,限位套21带动连接块23前后移动,连接块23带动推板15前后移动,控制驱动电机19使推板15带动基座12向前移动,当移动至静电消除器9的底部时,滑块20带动推板
15向后移动,实现快速上料,提高工作效率,然后启动伺服电机24,伺服电机24通过电机轴带动螺纹杆2转动,螺纹杆2通过螺纹带动螺纹套3上下移动,螺纹套3带动带动连接杆6上下移动,连接杆6带动静电消除器9上下移动,限位机构26对其进行限位,控制伺服电机24使静电消除器9向下移动,直至接触硅晶片14,静电消除器9对硅晶片14进行静电消除,同时导线
10和接地线11将静电导入地下,方便快捷,静电消除效果好,使硅晶片14不再吸附在陶瓷片
13上,然后使用辅助机构将硅晶片14顶离陶瓷片13,进入下一道工序。
[0030] 上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式,不能以此来限定本实用新型保护的范围,本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

附图说明

[0017] 图1为本实用新型的立体图;
[0018] 图2为本实用新型的正视图;
[0019] 图3为本实用新型的左视图;
[0020] 图4为本实用新型部件推板的俯视图。
[0021] 图中:1、壳体;2、螺纹杆;3、螺纹套;4、顶板;5、电机外壳;6、连接杆;7、限位管;8、限位杆;9、静电消除器;10、导线;11、接地线;12、基座;13、陶瓷片;14、硅晶片;15、推板;16、定位板;17、往复凸轮;18、转轴;19、驱动电机;20、滑块;21、限位套;22、固定杆;23、连接块;24、伺服电机;25、固定板;26、限位机构。
版权所有:盲专网 ©2023 zlpt.xyz  蜀ICP备2023003576号