[0004] 本发明的目的在于提供一种具有防护功能的化学机械抛光设备，以解决上述背景技术提出的目前市场上的化学机械抛光设备由于没有防护功能在磨抛转速过高时，导致在进行抛光时抛光液容易溅出，污染抛光台难以清理的问题。
[0005] 为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有防护功能的化学机械抛光设备，包括抛光台、卡合槽、滴液器和第二电动推杆，所述抛光台顶部设置有抛光盘，其中，[0006] 所述抛光盘外侧设置有防护罩，所述防护罩内侧设置有隔音棉，所述防护罩底部固定有固定柱，所述固定柱安装在固定槽内部，所述固定槽设置在抛光台顶部，所述防护罩底部两端固定有卡合栓，所述卡合栓安装在卡合槽内部，所述卡合槽设置在抛光台顶部；
[0007] 所述卡合槽内侧设置有柱孔，所述柱孔内部安装有锁定柱，所述锁定柱一端设置在所述卡合栓侧面，所述锁定柱外侧固定有锁定环，所述锁定环侧面固定有锁定弹簧，所述锁定柱另一端固定有移动块，所述移动块设置在移动槽内部，所述移动槽设置在按压柱内部，所述按压柱底部固定有按压弹簧，所述按压弹簧设置在按压槽内部，所述按压槽设置在抛光台顶部；
[0008] 所述滴液器设置在抛光台顶部的抛光盘侧面，所述抛光盘侧面通过第一电动推杆固定有机头，所述机头底部通过连接柱安装有样品盘，所述连接柱底部设置有安装槽，所述安装槽内部安装有安装柱，所述安装柱侧面设置有安装栓，所述安装栓安装在栓孔内部，所述栓孔设置在安装槽外侧；
[0009] 所述第二电动推杆设置在机头底部的连接柱外侧。
[0010] 优选的，所述防护罩设置为软塑料材质，且所述防护罩内部的隔音棉设置为聚酯纤维材质。
[0011] 优选的，多个所述固定柱等距离固定在防护罩底部，且所述固定柱底部设置为球体结构，而且所述固定槽内部设置为软橡胶材质。
[0012] 优选的，所述卡合栓设置有两个，且两个所述卡合栓对称固定在防护罩底部两侧，而且所述防护罩通过所述卡合栓与卡合槽之间构成卡合结构。
[0013] 优选的，所述移动块顶部设置为30°斜坡结构，且所述移动块通过移动槽与按压柱之间构成滑动结构。
[0014] 优选的，所述第一电动推杆安装在机头底部，且所述第一电动推杆输出端固定在所述抛光台顶部，而且所述第一电动推杆的型号设置为：ANT-52。
[0015] 优选的，所述安装柱设置在样品盘顶部中心位置，且所述安装柱与安装槽之间构成螺纹啮合结构。
[0016] 优选的，所述安装栓设置有两个，且两个所述安装栓对称设置在安装柱外部两侧，而且所述安装栓与栓孔之间构成卡合结构。
[0017] 优选的，所述第二电动推杆设置有多个，且多个所述第二电动推杆呈圆环型设置在机头底部的连接柱外侧，而且所述第二电动推杆的型号设置为：ANT-26。
[0018] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：该具有防护功能的化学机械抛光设备：
[0019] 在进行抛光时，我们可以将防护罩安装在抛光台顶部的抛光盘侧面，当抛光盘旋转速度过快时，抛光液会飞溅而出，通过防护罩防止抛光液飞溅，防止抛光液污染抛光台，同时防止抛光盘的旋转伤及工作人员；
[0020] 在使用防护罩进行防护抛光时，由于防护罩内侧设置有隔音棉，通过隔音棉将样品与抛光盘之间的摩擦噪音吸收反射，在一定程度上减少噪音的传播，提升工人的工作环境质量；
[0021] 在安装防护罩时，将防护罩底部的固定柱插入固定槽内部，再将卡合栓插入卡合槽内部，使得两个卡合栓通过锁定柱固定在卡合槽内部，即可将防护罩安装完成，简单方便；
[0022] 抛光完成后，我们将抛光台顶部的按压柱按下，使得按压柱内部的移动槽压迫移动块，由于移动块顶部设置为30°斜坡，则移动块会在移动槽内部移动，由此将锁定柱进行移动，当锁定柱一端从卡合栓侧面移开时，即可将防护罩取下，再将加工完成后的样品取出即可；
[0023] 5.设置有安装柱，在使用该抛光设备时，我们也可将样品盘取下进行检修更换，以便适应不同尺寸的样品，我们先将安装槽外侧的安装栓按下，使得安装栓按入栓孔内部，紧接着将样品盘进行旋转，使得样品盘顶部的安装柱从安装槽内部旋转移出，即可将样品盘取下进行检修更换；
[0024] 6. 安装样品盘时，取出新的样品盘，将样品盘顶部的安装柱旋转安装在安装槽内部，一直旋转，直到安装柱外侧的安装栓卡合在栓孔内部，即可快速将样品盘固定完成，继续进行抛光操作。
