[0051] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0052] 如图1～26所示，一种复合陶瓷靶的制造设备，包括底板1、放置区一101、称量系统、以及设置在底板1上的液相成胶系统、液相干胶系统、固相混合系统、固相成相系统、热压烧结系统；所述放置区一101设置在底板1一端，所述称量系统为两个，分别设置在液相成胶系统和固相混合系统上，所述热压烧结系统位于放置区一101一侧；
[0053] 所述液相成胶系统包括成胶罐3、进液管301、液罐302、滤网303、抽风管304、风扇305、旋转机架306、空压机307、导气管308、转轴管309、曝气支管3010、加热机3011、工作台
3012、旋转架3013、开关门3014；所述成胶罐3卡合在工作台3012上，所述液罐302设置在工作台3012上并通过进液管301与成胶罐3一侧连通，所述成胶罐3两侧壁设有滤网303，抽风管304设置在滤网303外侧，抽风管304内设有风扇305，所述成胶罐3内上部设置有旋转机架
306，旋转机架306一端与设置在工作台3012上的空压机307连接，所述转轴管309位于成胶罐3内部中心并设置在旋转机架306上，转轴管309上连接有多个曝气支管3010，转轴管309一端通过导气管308与空压机307连通，所述加热机3011设置在成胶罐3外壁上，成胶罐3底部设置有开关门3014，开关门3014下端与旋转架3013连接，旋转架3013设置在工作台3012底部，工作台3012设置在底板1上；
[0054] 所述液相干胶系统包括烘干机构、传送机构一、粉末烧结机构、送粉机构；所述烘干机构位于成胶罐3底部下方，所述粉末烧结机构、送粉机构依次设置在烘干机构一端，传送机构一位于烘干机构一侧；所述烘干机构包括嵌槽一4、震荡机一401、导热块5、伸缩机臂一501、加热电机502；所述嵌槽一4位于胶罐3底部正下方，嵌槽一4底部设置有震荡机一401，嵌槽一4两侧设有导热块5，导热块5通过伸缩机臂一501与加热电机502连接，加热电机
502位于在嵌槽一4一侧；所述粉末烧结机构包括底座8、嵌槽二801、正电极头802、导线管
803、支架二804、环形轨805、环形滑块806、导线807、旋转柱808、旋转盘809、升降基座一
8010、升降杆一8011、压头一8012、升降杆二8013、压头二8014、负电极头8015、升降杆三
8016、旋转环一8017、压头三8018、粉碎锥头8019；所述底座8设置在底板1上，嵌槽二801设置在底座8上，嵌槽二801外壁上设有正电极头802，正电极头802通过导线管803与支架二
804连接，支架二804上端设有环形轨805，环形滑块806设置在环形轨805上，环形滑块806通过导线807与负电极头8015连接，所述旋转柱808设置在环形轨805下端，所述旋转盘809设置在旋转柱808上，旋转盘809上设置有三个升降基座一8010，所述升降杆一8011、升降杆二
8013、升降杆三8016分别设置在升降基座一8010上，升降杆一8011一端设置有压头一8012，升降杆二8013一端设置有压头二8014，压头二8014底部设置有负电极头8015，升降杆三
8016一端设置有旋转环一8017，旋转环一8017下端设置有压头三8018，压头三8018底部设置有粉碎锥头8019；支架二804内置有电源，导线管803和导线807均通过内置导线与该内置电源连接，旋转盘809跟随旋转柱808的转动而旋转从而使得升降杆一8011、升降杆二8013、升降杆三8016可转动方向，并可根据需要转动至嵌槽二801正上方，从而依次完成压制、烧结、粉碎操作。
[0055] 所述固相混合系统包括进料口10、混料管1001、转动端一1002、转动端二1003、转动轴1004、绞龙刀1005、滤孔1006、收集斗11；所述进料口10设置在混料管1001顶部，所述混料管1001内设置有转动轴1004，转动轴1004两端分别与转动端一1002和转动端二1003连接，转动轴1004上设置有绞龙刀1005，混料管1001底部均匀设置有滤孔1006，滤孔1006下方设置有收集斗11；转动端一1002一端与设置在支架一208上的电机连接。
[0056] 所述固相成相系统包括传送机构二、搅拌机构、烧结机构、送靶机构；所述传送机构二位于固相混合系统一侧，所述搅拌机构、烧结机构、送靶机构依次位于固相混合系统一端；所述搅拌机构包括嵌槽三13、震荡机二1301、支架三14、旋转环二1401、伸缩机臂二1402、压头四1403、搅拌头1404；所述震荡机二1301设置在底板1上，嵌槽三13设置在震荡机二1301上，所述支架三14位于嵌槽三13一侧，支架三14一端设置有旋转环二1401，旋转环二
1401下端连接有伸缩机臂二1402，伸缩机臂二1402下端连接有压头四1403，压头四1403底部设有搅拌头1404；所述烧结机构包括支架四15、下行液压机1501、压头五1502、嵌槽四
1503、上行液压机1504、烧结炉1505、滑动门1506、滑动轮1507、滑轨1508；所述支架四15上端设置有下行液压机1501，下行液压机1501下端连接有压头五1502，压头五1502下方设置有嵌槽四1503，嵌槽四1503底部设置有上行液压机1504，上行液压机1504设置在底板1上，烧结炉1505位于支架四15一侧，烧结炉1505一侧设有滑动门1506，烧结炉1505底部设置有滑动轮1507，滑动轮1507滑动设置在滑轨1508上；
[0057] 所述热压烧结系统包括烧结箱17、加热棒1701、烧结炉管1702、模具1703、电机箱18、旋转杆二1801、升降块二1802、伸缩机臂四1803、液压机1804、压头六1805、伸缩机臂五
1806、关节架二1807、伸缩机臂六1808、机械爪1809；所述加热棒1701设置在烧结箱17内，烧结箱17内部中心设有烧结炉管1702，烧结箱17内设置有模具1703，电机箱18位于烧结箱17一侧，电机箱18上设置有旋转杆二1801，升降块二1802设置在旋转杆二1801上，升降块二
1802上连接有伸缩机臂四1803和伸缩机臂五1806，伸缩机臂四1803一端连接有液压机
1804，液压机1804下端连接有压头六1805，伸缩机臂五1806一端连接有关节架二1807，关节架二1807一端连接有伸缩机臂六1808，伸缩机臂六1808下端连接有机械爪1809。
[0058] 所述称量系统包括进料斗2、上管道201、上开合门202、中管道203、切割线204、线切割机205、下管道206、下开合门207、支架一208；所述进料斗2下端依次与上管道201、中管道203、下管道206连接，所述上开合门202设置在上管道201上，所述中管道203内设置有切割线204，切割线204与位于中管道203外侧的线切割机205连接，所述下管道206下端设置有下开合门207，所述支架一208与上管道201一侧连接用于支撑固定。原料通过进料斗2进入上管道201，并通过控制上开合门202的开合大小控制原料的通过量。原料流入中管道203时被切割线204切割破碎然后进入下管道206，并通过控制下开合门207的开合大小以达到控制原料流速的目的。
[0059] 所述传送机构一包括坩埚6、坩埚柄601、机械夹一7、翻转机臂一701、滑动块一702、滑动杆一703、滑动车一704、行车架一705；所述坩埚6两侧设有坩埚柄601，机械夹一7通过坩埚柄601夹持坩埚6，机械夹一7一端与翻转机臂一701连接，翻转机臂一701设置在滑动块一702上，滑动块一702滑动设置在滑动杆一703上，滑动杆一703一端设置在滑动车一
704上，滑动车一704滑动设置在行车架一705上，行车架一705设置在底板1上。滑动车一704可以在行车架一705来回滑动，从而带动机械夹一7、翻转机臂一701、滑动块一702、滑动杆一703相对行车架一705左右移动，滑动块一702可在滑动杆一703上上下滑动从而带动机械夹一7、翻转机臂一701相对滑动杆一703上下移动，最终通过机械夹一7夹持坩埚6带动坩埚
6上下左右自由移动。
[0060] 所述送粉机构包括送粉机9、滑动盒901、旋转杆一902、关节架一903、喷头904；所述滑动盒901滑动设置在送粉机9内，旋转杆一902设置在送粉机9上，旋转杆一902一端设置有关节架一903，关节架一903一端连接有喷头904。送粉机9内置有泵机，通过内置管道将粉末输送至喷头904。
[0061] 所述传送机构二包括坩埚6、坩埚柄601、机械夹二12、翻转机臂二1201、滑动块二1202、滑动杆二1203、滑动车二1204、行车架二1205；所述坩埚6两侧设有坩埚柄601，所述机械夹二12通过坩埚柄601夹持坩埚6，机械夹二12一端与翻转机臂二1201连接，翻转机臂二
1201设置在滑动块二1202上，滑动块二1202滑动设置在滑动杆二1203上，滑动杆二1203一端设置在滑动车二1204上，滑动车二1204滑动设置在行车架二1205上。滑动车二1204可以在行车架二1205来回滑动，从而带动机械夹二12、翻转机臂二1201、滑动块二1202、滑动杆二1203相对行行车架二1205左右移动，滑动块二1202可在滑动杆二1203上上下滑动从而带动机械夹二12、翻转机臂二1201相对滑动杆二1203上下移动，最终通过机械夹二12夹持坩埚6带动坩埚6上下左右自由移动。
[0062] 所述送靶机构包括放置区二16、轨道杆1601、升降块一1602、伸缩机臂三1603、升降基座二1604、升降杆1605、圆盘1606、滑槽1607、滑动夹头1608；所述放置区二16位于滑轨1508一侧，所述轨道杆1601设置在放置区二16一侧，轨道杆1601上滑动设置有升降块一
1602，升降块一1602一端连接有伸缩机臂三1603，伸缩机臂三1603一端设置有升降基座二
1604，升降杆1605设置在升降基座二1604上，升降杆1605一端连接有圆盘1606，圆盘1606底部设置有滑槽1607，滑槽1607上设置有滑动夹头1608。
[0063] 所述成胶罐3位于下管道206正下方，所述进料口10位于下管道206正下方。
[0064] 所述滑槽1607为四个，所述相邻两个滑槽1607的角度为90°。
[0065] 所述搅拌头1404为弧形板，且弧形板风方向各异，起到很好的搅拌效果。
[0066] 所述模具1703上端设置有把手。
[0067] 本发明工作时：通过液相成胶系统、液相干胶系统制备由溶胶凝胶法制备的陶瓷粉末，通过固相混合系统、固相成相系统制备由固相法制备的陶瓷靶材，然后将得到的陶瓷粉末与陶瓷靶材通过热压烧结系统混合压制并烧结最终得到所需的复合陶瓷靶。
[0068] 将制备陶瓷粉末所需原料通过称量系统称量粉碎后流入液相成胶系统的成胶罐3中，液罐302内储存的水由进液管301流入成胶罐3内，空压机307通过导气管308向转轴管309内通入压缩空气，转轴管309在旋转机架306上旋转从而带动曝气支管3010转动，压缩空气通过曝气支管3010曝气充满整个成胶罐3，加热机3011同时对成胶罐3加热，原料在水、曝气和加热的作用下成胶；抽风管304内的风扇305可通过滤网303向成胶罐3内抽风实现空气循环；待原料成胶完成后通过旋转架3013打开开关门3014使得胶体从成胶罐3中流出落入到烘干机构上。传送机构一首先将坩埚6放置在烘干机构的嵌槽一4上，胶体落入到坩埚6上，通过导热块5、伸缩机臂一501、加热电机502的配合可对嵌槽一4导热，从而使得坩埚6内的胶体被烘干，同时通过震荡机一401的震动可以使得胶体受热均匀被充分烘干。烘干后的胶体由传送机构一将坩埚6移动至粉末烧结机构的嵌槽二801上，首选通过升降杆一8011和压头一8012将胶体压制成型，然后通过升降杆二8013、压头二8014、负电极头8015对成型胶体进行放电烧结，烧结完成后通过升降杆三8016、旋转环一8017、压头三8018、粉碎锥头
8019对其进行破碎得到溶胶凝胶法制备的陶瓷粉末。通过传送机构一将烧结完成的粉末移动到送粉机9的滑动盒901内，通过旋转杆一902、关节架一903、喷头904的配合将粉末输送到模具1703中以便进行下一步操作。
[0069] 将制备陶瓷靶材所需原料通过称量系统称量粉碎后流入固相混合系统的进料口10中，并通过进料口10流入混料管1001内，原料在混料管1001内被绞龙刀1005破碎到达一定粒度时从滤孔1006中流出，流出的原料通过收集斗11流入到传送机构二的坩埚6中收集；
传送机构二依次将坩埚6中的原料移动至搅拌机构、烧结机构、送靶机构中完成搅拌、烧结及送靶。首选送机构二将坩埚6放置在嵌槽三13上，通过旋转环二1401、伸缩机臂二1402、压头四1403、搅拌头1404将原料搅拌混合均匀，同时震荡机二1301的震动可以加强搅拌作用。
然后送机构二将坩埚6移动至嵌槽四1503上，通过下行液压机1501、压头五1502、上行液压机1504的配合作用可以将坩埚6内的粉末压制成靶，压靶完成后送机构二将坩埚6移动至烧结炉1505内烧结，滑动轮1507、滑轨1508的配合可以移动烧结炉1505的位置，以便取放烧结完成的靶材。将烧结完成的靶材通过送机构二将坩埚6移动至放置区二16中，通过滑槽
1607、滑动夹头1608的配合可以将靶材夹持住，并通过轨道杆1601、升降块一1602、伸缩机臂三1603、升降基座二1604、升降杆1605的配合可以将夹持的靶材送入模具1703中以便进行下一步操作。
[0070] 通过升降块二1802、伸缩机臂四1803、液压机1804、压头六1805的配合操作可以将模具1703中的靶材和粉末混合压制均匀，然后由烧结箱17内的加热棒1701对其进行烧结得到一个复合陶瓷靶，烧结完成后由机械爪1809夹紧模具1703的把手，通过伸缩机臂五1806、关节架二1807、伸缩机臂六1808的配合作用将模具1703取出并移动到放置区一101上，通过取下模具1703得到得到所需的复合陶瓷靶成品。
[0071] 陶瓷粉末与陶瓷靶材可以采用相同原料制作，得到同种类两面质量不同的复合陶瓷靶；陶瓷粉末与陶瓷靶材也可以采用不同的原料制作，得到不同种类且两面质量不同的复合陶瓷靶。
[0072] 以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
